抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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HBM応用のための有機インターポーザを使用し,技術の実証を記述する2.1D SiPを提案した。SiP構造は従来の有機パッケージに新しく開発された薄い感光性絶縁膜多層(有機インターポーザ)で構成され,パッケージコストを可能にする良く制御することができた。HBM相互接続は,2/2μmのL/Sで二シグナル伝達金属層で達成された。金属層の間の連結は,約4μmの厚さの非常に薄い感光性絶縁膜層を通した直径5μmと小さいバイアによって達成された。HBMの電気透過特性をシミュレーションで実証した。シミュレーション結果は,3Gbpsまでの非常に良好なアイ開口を示した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】