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J-GLOBAL ID:201702245133840061   整理番号:17A1157451

プラズマの探知

Plasma Detectives
著者 (1件):
資料名:
巻: 107  号: 6/7  ページ: 55-57  発行年: 2017年 
JST資料番号: C0418A  ISSN: 1862-4243  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: ドイツ (DEU)  言語: 英語 (EN)
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プラズマ処理に用いるプラズマには大気圧プラズマと低圧プラズマがあり,いずれを使用するかは,必要な条件によって決定される。大気圧プラズマ処理は,処理速度および基材表面からの距離のような加工パラメーターを変えることによって変えられる。低圧プラズマ処理は,エネルギーイオンと電子および他の反応性粒子を造り出し,表面改質に有効な方法である。この報告では,今まで難しかったプラズマ処理の制御を容易にするために,Diener electronic社が開発したプラズマインジケータータグを紹介する。開発したインジケータータグは,プラズマのみに応答し,熱および光の影響を受けない。インジケータータグには,大気圧プラズマ処理用と低圧プラズマ処理用があり,それぞれの作用メカニズムが示される。
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