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J-GLOBAL ID：201702245175027513   整理番号：17A1708204

原子層堆積によるアルミナと酸化チタンナノ粒子の効果的なコーティング【Powered by NICT】

Effective coating of titania nanoparticles with alumina via atomic layer deposition

著者 (7件)： Azizpour H. (Multiphase Systems Research Lab., School of Chemical Engineering, College of Engineering, University of Tehran, P.O. Box 11155/4563, Tehran, Iran) ,  Talebi M. (Delft University of Technology, Faculty of Applied Science, van der Maasweg 9, 2629 HZ, Delft, The Netherlands) ,  Tichelaar F.D. (Delft University of Technology, Kavli Institute of Nanoscience, National Centre for HREM, Lorentzweg 1, 2628 CJ, Delft, The Netherlands) ,  Sotudeh-Gharebagh R. (Multiphase Systems Research Lab., School of Chemical Engineering, College of Engineering, University of Tehran, P.O. Box 11155/4563, Tehran, Iran) ,  Guo J. (Multi-Phase Mass Transfer & Reaction Engineering Lab, College of Chemical Engineering, Sichuan University, Chengdu 610065, China) ,  van Ommen J.R. (Delft University of Technology, Faculty of Applied Science, van der Maasweg 9, 2629 HZ, Delft, The Netherlands) ,  Mostoufi N. (Multiphase Systems Research Lab., School of Chemical Engineering, College of Engineering, University of Tehran, P.O. Box 11155/4563, Tehran, Iran)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 426  ページ： 480-496  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： アルミナ膜を180°Cと1barで流動層反応器中での原子層堆積(A LD)を介してチタニアナノ粒子上に堆積した。前駆体の最適投与時間を決定するために,オンライン質量分析は,各反応サイクル中の反応器からの流出ガスのリアルタイムモニタリングに使用した。異なる酸素源は,酸素源,トリメチルアルミニウム(TMA)と組み合わせて,(GPC)サイクル当たり最高のアルミナ成長を提供することを見るために使用した。実験は,前駆体の最適投与時間を用いて4 7及び10サイクルで行った。,高分解能透過型電子顕微鏡(HRTEM),Brunauer-Emmett-Teller(BET),エネルギー分散X線分光(EDX),Fourier変換赤外(FTIR),X線回折(XRD)及び機器中性子放射化分析(INAA)のような,いくつかのキャラクタリゼーション法は生成物について行った。アルミナ膜の形成をEDXマッピングとEDX線プロファイリング,FTIRとTEMにより確認された。酸素源として水または重水を用いた場合,アルミナ膜の厚さはオゾンのそれより大きかった。水,重水素酸化物とオゾンによるTMAのA LDのためのTEMによって測定された平均GPCは約0.16nm,0.15nmと0.11nmであった。INAAからのアルミニウムの質量分率を用いて計算した平均GPC TEM画像から測定されたものに近かった。過剰量の前駆体を不十分なパージ時間のためにサイクル当たりのアルミナ膜のより高い平均成長をもたらした。XRD分析は非晶質アルミナはチタニアナノ粒子上に被覆されたことを示した。この非晶質層はTEM像中の結晶コアから容易に区別した。アルミナ被覆後のチタニアナノ粒子の光触媒活性の減少が紫外線照射によるローダミンBの分解を測定することによって確認した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 被覆 ,  非晶質 ,  *アルミナ ,  キャラクタリゼーション ,  *ナノ粒子 ,  前駆体 ,  紫外線照射 ,  オゾン ,  X線回折 ,  アルミニウム ,  重水 ,  酸素 ,  質量分析 ,  画像
準シソーラス用語： 二酸化チタン , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 原子層堆積 ,  サイクル当たりの成長 ,  酸化剤 ,  光触媒活性 ,  チタニアの被覆

分類 (5件)： 貴金属触媒  (CB06122I) ,  半導体薄膜  (BK14040E) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  光物性一般  (BM08010A) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 原子層堆積 ,  アルミナ ,  酸化チタンナノ粒子 ,  コーティング