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J-GLOBAL ID：201702245294657653   整理番号：17A0777345

クリスタルゲージ/コールドカソードゲージ複合ワイドレンジ真空計の特性

Characteristics of Crystal/Cold Cathode Wide Range Vacuum Gauge

著者 (2件)： 大迫信治 (VISTA 株式会社) ,  黒岩雅英 (東京電子株式会社)
資料名： Journal of the Vacuum Society of Japan  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 60  号： 5  ページ： 193-195(J-STAGE)  発行年： 2017年 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 1882-2398  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 一つのゲージで広帯域の計測ができることや,測定子にかかるランニングコストの削減は,真空計に関するユーザーの要求である。この要求を受けて,東京電子株式会社,VISTA株式会社,バキュームプロダクツ株式会社は共同で,水晶摩擦真空計(クリスタルゲージ)とダブル逆マグネトロン真空計(コールドカソードゲージ)を一体化させたクリスタル/コールドカソードコンビネーションゲージを開発した。その概要・構造を紹介し,ワイドレンジ圧力計測の概要と,総合真空特性を報告する。専用データロガーソフトについても紹介する。

シソーラス用語： *真空計 ,  *石英 ,  *カソード ,  *ハイブリッド方式 ,  摩擦 ,  広帯域 ,  原価低減
準シソーラス用語： *コールドカソード ,  *水晶

分類 (1件)： 真空技術  (BA02020L)

引用文献 (5件)：

• 1) B. R. F. Kendall and E. Drubetsky: J. Vac. Sci. Technol. A, 18 (2000) 1724.
• 2) M. Hirata, M. Ono, H. Murakami, Y. Toda and K. Kokubun: Shinku, 26 (1983) 526.
• 3) K. Kokubun, M. Hirata, M. Ono, H. Murakami and Y. Toda: J. Vac. Sci. Technol. A, 3 (1985) 2184.
• 4) T. Kobayashi, H. Hojo and M. Ono: Vacuum, 44 (1993) 613.
• 5) T. Kobayashi and H. Hojo: Shinku, 37 (1994) 403.

タイトルに関連する用語 (4件)： クリスタル ,  ゲージ ,  レンジ ,  真空計