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J-GLOBAL ID:201702245339557176   整理番号:17A1722876

3Dフォトニックナノ構造の内部観察【Powered by NICT】

The inside view of 3D photonic nanostructures
著者 (7件):
資料名:
巻: 2017  号: CLEO/Europe-EQEC  ページ:発行年: 2017年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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ナノ加工では,実試料の構造を特性化し,特に非線形光学や量子ドット発光[1]を制御する三次元(3D)のに対する大きな挑戦である。課題はその特性は同等または光の波長(d<2)よりも小さい特徴サイズDとの複合体構造により決定されるナノフォトニック媒体に関するものである。これらナノ材料である最初から不透明,光学顕微鏡は,不十分な侵入深さ,限られた分解能とは別にを持っている。走査電子顕微鏡(SEM)は素晴らしいnm空間分解能を提供するが,小さい侵入深さを持つ,唯一の試料表面を展望した(図1参照)が,バルクなかった。X線技術はナノフォトニクスのための有望なツールである,優れた侵入深さ,非破壊特性,nm空間分解能を考慮した。,X線断層撮影[2]による立方晶ダイヤモンド状構造をもつ3次元Siフォトニックバンドギャップ結晶を研究した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (1件):
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その他の無機化合物の結晶構造 
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