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J-GLOBAL ID：201702245595894809   整理番号：17A1040552

自己組織化単分子膜の連結膜厚制御とガラス表面の高密度被覆による原子磁気センサの高感度化

Study on Control of Thickness of Self-Assembled Monolayer Film and High-Sensitivity Magnetometer by High-Density Coating of it on Glass Surface

著者 (1件)： 熊谷寛 (北里大 医療衛生)
資料名： 日本板硝子材料工学助成会成果報告書(CD-ROM)  (Nippon Sheet Glass Foundation for Materials Science and Engineering Report (CD-ROM))
巻： 35  ページ： 119-126  発行年： 2017年 
JST資料番号： X0948B  ISSN： 1883-3128  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 独自に開発してきた原子層堆積法を発展することで,自己組織化単...

シソーラス用語： *超薄膜 ,...
準シソーラス用語： *自己組織化単分子膜 ,...

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分類 (3件)： 電磁気的量の計測一般  (AD07010R) ,  循環系の診断  (GJ02000V) ,  有機化合物の薄膜  (BK14070L)

物質索引 (1件)： トリメチルアルミニウム

引用文献 (10件)：

• H. Kumagai, K. Toyoda, M. Matsumoto, and M. Obara, ′′Comparative Study of Al2O3 Optical Crystalline Thin Films Grown by Vapor Combinations of Al(CH₃)₃/N₂O and Al (CH₃)₃/H₂O₂′′, Jpn. J. Appl. Phys. 32, pp. 6137-6140(1993).
• H. Kumagai and K. Toyoda, ′′In situ ellipsometric diagnostics for controlled growth of metal oxides with surface chemical reactions′′, Appl. Surf. Sci. 82/83, pp. 481-486 (1994).
• H. Kumagai, M. Matsumoto, Y. Kawamura, K. Toyoda and M. Obara, ′′Fabrication of multilayers by controlled growth with sequential surface chemical reactions′′, Jpn. J. Appl. Phys. 33, pp. 7086-7089(1994).
• H. Kumagai, M. Matsumoto, K. Toyoda, M. Obara, and M. Suzuki, ′′Fabrication of titanium oxide thin films by controlled growth with sequential sur face chemical reactions′′, Thin Solid Films 263, pp. 47-53(1995).
• 熊谷 寛, “原子層堆積/原子層成長法による軟X 線多層膜ミラーの新展開”, レーザー研究 25, 5 , pp. 355-361(1997).

タイトルに関連する用語 (7件)： 自己組織化単分子膜 ,  膜厚制御 ,  ガラス ,  高密度 ,  原子 ,  磁気センサ ,  高感度化