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J-GLOBAL ID：201702245828739615   整理番号：17A1570368

チップ上に集積した小型質量分析計【Powered by NICT】

Miniature mass spectrometer integrated on a chip

著者 (5件)： Szyszka Piotr (Wrocl/aw University of Science and Technology, Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, Wrocl/aw, Poland) ,  Grzebyk Tomasz (Wrocl/aw University of Science and Technology, Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, Wrocl/aw, Poland) ,  Krysztof Michal (Wrocl/aw University of Science and Technology, Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, Wrocl/aw, Poland) ,  Gorecka-Drzazga Anna (Wrocl/aw University of Science and Technology, Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, Wrocl/aw, Poland) ,  Dziuban Jan A. (Wrocl/aw University of Science and Technology, Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, Wrocl/aw, Poland)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： IVNC  ページ： 186-187  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 質量分析は化学化合物の定性的および定量的キャラクタリゼーションを可能にする最も強力な技術の一つである。しかし,解析プロセスに対して必要となるかさばった高真空システムは,専門研究室への応用を制限している。これらの制約が,小型高真空MEMS(マイクロエレクトロメカニカルシステム)とを置換することによって克服することができる。世界初のように,完全に小型化したMEMS質量分析計の概念を提案することを可能にする解を開発した。多層シリコン-ガラス要素:試料注入システム,イオン源,イオンビーム光学,質量分離器,検出器,および高真空マイクロポンプは,単一の真空チップ上に集積化した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： キャラクタリゼーション ,  検出器 ,  多層 ,  イオン ,  高真空 ,  マイクロポンプ ,  ガラス ,  *質量分析計 ,  ビーム光学 ,  MEMS ,  試料導入 ,  *質量分析 ,  分離装置 ,  小型化 ,  イオン源

分類 (2件)： 質量分析計  (BD02060M) ,  質量分析  (CC03013N)

タイトルに関連する用語 (2件)： 集積 ,  質量分析計