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J-GLOBAL ID：201702246157351213   整理番号：17A1719419

軟X線反射率法によるAl/ZrC/Al/W導波路のような構造におけるZrC/Al界面の研究【Powered by NICT】

Investigation of ZrC/Al interfaces in a Al/ZrC/Al/W waveguide-like structure by soft X-ray reflectivity technique

著者 (9件)： Singh Amol (Indus Synchrotrons Utilization Division Raja Ramanna Centre for Advanced Technology, Indore 452013, India) ,  Singh Amol (National Synchrotron Radiation Research Center, Hsinchu 30076, Taiwan) ,  Modi Mohammed H. (Indus Synchrotrons Utilization Division Raja Ramanna Centre for Advanced Technology, Indore 452013, India) ,  Jonnard Philippe (Sorbonne Universites, UPMC Univ Paris 06, Laboratoire de Chimie Physique - Matiere et Rayonnement, 4 Place Jussieu, F-75252 Paris Cedex 05, France) ,  Jonnard Philippe (CNRS UMR 7614, Laboratoire de Chimie Physique - Matiere et Rayonnement, 4 Place Jussieu, F-75252 Paris Cedex 05, France) ,  Le Guen Karine (Sorbonne Universites, UPMC Univ Paris 06, Laboratoire de Chimie Physique - Matiere et Rayonnement, 4 Place Jussieu, F-75252 Paris Cedex 05, France) ,  Le Guen Karine (CNRS UMR 7614, Laboratoire de Chimie Physique - Matiere et Rayonnement, 4 Place Jussieu, F-75252 Paris Cedex 05, France) ,  Andre Jean-Michel (Sorbonne Universites, UPMC Univ Paris 06, Laboratoire de Chimie Physique - Matiere et Rayonnement, 4 Place Jussieu, F-75252 Paris Cedex 05, France) ,  Andre Jean-Michel (CNRS UMR 7614, Laboratoire de Chimie Physique - Matiere et Rayonnement, 4 Place Jussieu, F-75252 Paris Cedex 05, France)
資料名： Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena  (Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena)
巻： 220  ページ： 6-8  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0266C  ISSN： 0368-2048  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ZrC/Al多層はAl L吸収端近くでの軟X線/EUV領域に適していることが分かった。実験的に成長させた多層から計算した反射率性能を達成するために界面でのAlの相互混合は深刻な問題である。本研究において,著者らの目的は導波路のような構造を作るAl/ZrC/Al/WとしてZrC/Al界面を調べることである。軟X線反射率(SXR)を用いてSi基板上に堆積した4層から成る構造を研究した。層の密度,厚さ及び粗さ,スタックの構造パラメータは,SXRデータをフィッティングさせることで決定した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 多層 ,  吸収端 ,  *反射率 ,  構造パラメータ ,  *アルミニウム ,  *軟X線 ,  *導波路 ,  *界面
準シソーラス用語： シリコンウエハ ,  相互混合 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 軟X線反射率 ,  Interfaces ,  ZrC ,  Al ,  導波路

分類 (2件)： 電子分光スペクトル  (BM09060K) ,  X線スペクトル一般  (BM08101P)

タイトルに関連する用語 (6件)： 軟X線 ,  反射率 ,  Al ,  導波路 ,  界面 ,  研究