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J-GLOBAL ID：201702246177897874   整理番号：17A0301122

フレキシブル基板上に1,ガリウム共ドープ酸化亜鉛透明導電膜とその光電気的性質を研究した。【JST・京大機械翻訳】

Synthesis and Properties of F /Ga Co-Doped ZnO Thin Films on Flexible Substrate

著者 (5件)： Zhao Yue (Department of Materials Science,Fudan University) ,  Du Xiaoqin (Department of Materials Science,Fudan University) ,  Yan Zhong (Department of Materials Science,Fudan University) ,  Pan Yang (Department of Materials Science,Fudan University) ,  Wu Xiaojing (Department of Materials Science,Fudan University)
資料名： Zhenkong Kexue yu Jishu Xuebao  (Zhenkong Kexue yu Jishu Xuebao)
巻： 36  号： 11  ページ： 1334-1341  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2159A  ISSN： 1672-7126  CODEN： CKKSDV  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： GA,F共ドープZNO透明導電性薄膜を,パルスレーザ蒸着によりポリエチレンテレフタレート(PET)基板上に調製した。X線回折,紫外-可視分光光度計,原子間力顕微鏡,および透過型電子顕微鏡を用いて,薄膜の特性を特性評価した。蒸着時間,GAドーピング量,基板温度,酸素流量などの実験条件を制御することにより,薄膜の性質に及ぼすパラメータの影響を研究した。実験結果に対する各パラメータの重要性を分析するために,直交実験法を用いて実験を行い,結果を直交分析,差分分散分析を行った。各実験条件が結果に与える影響の大きさ順序と最適調製条件を得た。結果により、ドーピング量と堆積時間は薄膜の光電性能に対する影響が大きく、GAドーピング量が1.0%(原子比)であり、しかも堆積時間が短い薄膜の透過率が比較的に良いことが分かった。GAドーピング量が1.0%で,蒸着時間が長いと,膜の電気伝導率はより良かった。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *ドーピング ,  キャラクタリゼーション ,  電気伝導率 ,  *酸化亜鉛 ,  蒸着 ,  薄膜 ,  直交性 ,  原子間力顕微鏡 ,  *透明導電膜 ,  基板温度 ,  *フレキシブル基板 ,  透過型電子顕微鏡 ,  透過率
準シソーラス用語： *光電気 ,  実験条件 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： Transparent conducting films ,  ZnO doped with Ga and F ,  PET flexible substrate ,  orthogonal design

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： フレキシブル基板 ,  ガリウム ,  ドープ ,  酸化亜鉛 ,  透明導電膜 ,  電気的性質 ,  研究