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J-GLOBAL ID：201702246191575597   整理番号：17A0662649

MoxベースのNH₃ガスセンサーの温度制御と読み出し回路インタフェース

Temperature control and readout circuit interface for Mox based NH₃ gas sensor

著者 (6件)： SHARMA Dharmendra Kumar (CSIR-Central Electronic Engineering Res. Inst.(CSIR-CEERI), Pilani, IND) ,  DWARA Rama Sai Vinay (BITS Pilani Hyderabad Campus, Hyderabad, IND) ,  BOTRE B.A. (CSIR-Central Electronic Engineering Res. Inst.(CSIR-CEERI), Pilani, IND) ,  BOTRE B.A. (Acad. Scientific and Innovative Res.(AcSIR), Chennai, IND) ,  AKBAR S.A. (CSIR-Central Electronic Engineering Res. Inst.(CSIR-CEERI), Pilani, IND) ,  AKBAR S.A. (Acad. Scientific and Innovative Res.(AcSIR), Chennai, IND)
資料名： Microsystem Technologies  (Microsystem Technologies)
巻： 23  号： 5  ページ： 1575-1583  発行年： 2017年05月 
JST資料番号： W2056A  ISSN： 0946-7076  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 金属酸化物ベースの統合ガスセンサは,高感度で複数のガスを検出する能力に因り,産業用途に広く使用されている。本稿では,デジタル設定点,精密な閉ループ温度制御,広範囲の抵抗読み出し回路を含むハンドヘルドのマイクロヒーター統合金属酸化物(MOX)ベースのガスセンサインタフェースシステムを2つの回路を構成,実装することで実証した。ガスセンサの動作温度は,2.0°Cの分解能で300°Cまで調整できることを示した。マイクロヒーターの熱伝達特性はモデル化が困難であるため,マイクロヒーターの温度を制御するためにON-OFF制御技術を用いた。第2に,時間トポロジーに対する耐性を導入して,時間変換ベースの抵抗読み出し回路に対する抵抗を,1~100MΩの範囲で測定し,約2%の精度でガスの濃度を測定できるように設計した。システムに柔軟性を持たせ,異なる電力要件および製造パラメータを有する統合センサとのインタフェースを可能にした。ガス検出に用いられるガス検知膜は,酸化スズからなり,金属酸化物センサーは高温で働くため,230°Cのアンモニア,80°Cの二酸化窒素,270°Cの一酸化炭素などの異なるガスの検出を可能にした。

シソーラス用語： *ガスセンサ ,  *温度制御 ,  電気回路 ,  インタフェイス ,  *金属酸化物 ,  加熱器 ,  温度 ,  分解能 ,  *アンモニア
準シソーラス用語： マイクロヒータ ,  温度分解能 ,  動作温度 ,  読出回路

分類 (2件)： その他の固体デバイス  (NC03150A) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： MOX ,  NH3ガス ,  センサー ,  温度制御 ,  読み出し回路 ,  インタフェース