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J-GLOBAL ID：201702246214364430   整理番号：17A1657098

半導体生産ラインに対するMASファジィ協同に基づく歩留り予測手法【JST・京大機械翻訳】

Fuzzy collaborative yield prediction approach based on MAS in semiconductor wafer fabrication

著者 (3件)： Zhao Tingting (北京化工大学信息科学与技術学院,北京,100029) ,  Cao Zhengcai (北京化工大学信息科学与技術学院,北京,100029) ,  Qiu Minghui (北京化工大学信息科学与技術学院,北京,100029)
資料名： Jisuanji Jicheng Zhizao Xitong  (Jisuanji Jicheng Zhizao Xitong)
巻： 23  号： 4  ページ： 852-859  発行年： 2017年 
JST資料番号： C2700A  ISSN： 1006-5911  CODEN： JJZXFN  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 従来の歩留り予測モデルにおいて,大量の欠陥情報を必要とし,範囲予測を非常に少なくするために,マルチエージェントの考え方に基づいて,ファジィ集合とサポートベクトル回帰を組み合わせた方法を研究し,歩留りを予測した。予測範囲を減少させる一方で,マルチエージェントは,学習速度を調整するためにパラメータを調整し,そして,いくつかのファジィな歩留り学習モデルを,決定されたパラメータに基づいて構築した。ファジィルールを用いて,予測精度を改善するために,いくつかの学習モデルの予測結果を集約した。最後に,サポートベクトル回帰を用いて,最終的な歩留り予測値を得るために,重合結果をファジィ化した。シミュレーション結果により,本方法は,単純かつ正確であり,そして,予測範囲は,より正確であり,そして,実行可能性があることを示した。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 予測モデル ,  ファジィ集合 ,  *歩留り ,  *予測技法 ,  *曖昧さ ,  学習モデル ,  *予測 ,  シミュレーション
準シソーラス用語： ファジィ化 ,  予測精度 ,  ファジィルール ,  学習速度 ,  サポートベクトル回帰 ,  マルチエージェント ,  *半導体製造 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： semiconductor wafer fabrication ,  yield prediction ,  multi-agent ,  fuzzy intersection ,  support vector regression

分類 (2件)： 人工知能  (JE08000Z) ,  システム・制御理論一般  (IA02010H)

タイトルに関連する用語 (5件)： MAS ,  ファジィ ,  協同 ,  歩留り ,  予測手法