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J-GLOBAL ID：201702246226038065   整理番号：17A1560612

超硬合金切削インサートの表面トポグラフィーに及ぼすArイオンエッチングの影響【Powered by NICT】

Influence of Ar ion etching on the surface topography of cemented carbide cutting inserts

著者 (6件)： Gassner Martina (Department of Physical Metallurgy and Materials Testing, Montanuniversitaet Leoben, Franz-Josef-Strasse 18, 8700 Leoben, Austria) ,  Schalk Nina (Department of Physical Metallurgy and Materials Testing, Montanuniversitaet Leoben, Franz-Josef-Strasse 18, 8700 Leoben, Austria) ,  Sartory Bernhard (Materials Center Leoben Forschung GmbH, Roseggerstrasse 12, 8700 Leoben, Austria) ,  Pohler Markus (CERATIZIT Austria GmbH, Metallwerk-Plansee-Strasse 71, 6600 Reutte, Austria) ,  Czettl Christoph (CERATIZIT Austria GmbH, Metallwerk-Plansee-Strasse 71, 6600 Reutte, Austria) ,  Mitterer Christian (Department of Physical Metallurgy and Materials Testing, Montanuniversitaet Leoben, Franz-Josef-Strasse 18, 8700 Leoben, Austria)
資料名： International Journal of Refractory Metals & Hard Materials  (International Journal of Refractory Metals & Hard Materials)
巻： 69  ページ： 234-239  発行年： 2017年 
JST資料番号： H0059B  ISSN： 0263-4368  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 硬質皮膜の物理蒸着前のイオンエッチングによるその場基板洗浄は表面のトポグラフィーと組成を変化させる被覆されていない。本研究では,異なる形状を有する超硬合金切削インサートの表面トポグラフィーに及ぼすArイオンエッチングの影響を調べた。イオンエッチング後の切削インサートの表面は,切れ刃と平面上のイオンエッチングの影響を明らかにするために,各種の走査電子顕微鏡法により評価した。さらに,プロフィルメータ測定は,表面粗さの変化を決定し,エッチングおよび非エッチング表面の間のステップ高さを測定することによって除去された材料を定量化するために実施した。除去層の表面粗さと厚さは,一定バイアス電圧でエッチング時間とともに増加したが,印加電圧はわずかな影響を有していた。添加では,エネルギー分散X線分光マッピングは,コバルトバインダ相の優先スパッタリングのためのイオンエッチングによる表面組成の変化を示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 物理蒸着 ,  プロフィルメータ ,  *アルゴン ,  エネルギー散逸 ,  形態 ,  *工具チップ ,  *エッチング ,  *イオンエッチング ,  切れ刃 ,  *超硬合金 ,  スパッタリング
準シソーラス用語： バイアス電圧 ,  走査電子顕微鏡法 ,  硬質皮膜 ,  *表面トポグラフィー , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： イオンエッチング ,  超硬 ,  PVD ,  切削インサート ,  ハードコーティング

分類 (5件)： 旋削,中ぐり  (QC02020G) ,  フライス加工  (QC02030R) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G) ,  切削一般  (QC02010V) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (5件)： 硬合金 ,  切削インサート ,  表面トポグラフィー ,  Arイオン ,  エッチング