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J-GLOBAL ID：201702246415337562   整理番号：17A0578467

エチレングリコール改良ゾル-ゲル法を用いて調製したPZT薄膜の誘電性と強誘電性の向上

Enhanced dielectric and ferroelectric properties of PZT thin films derived by an ethylene glycol modified sol-gel method

著者 (4件)： LU Guoping (Shanghai Univ., Shanghai, CHN) ,  DONG Hanting (Shanghai Univ., Shanghai, CHN) ,  CHEN Jianguo (Shanghai Univ., Shanghai, CHN) ,  CHENG Jinrong (Shanghai Univ., Shanghai, CHN)
資料名： Journal of Sol-Gel Science and Technology  (Journal of Sol-Gel Science and Technology)
巻： 82  号： 2  ページ： 530-535  発行年： 2017年05月 
JST資料番号： W0812A  ISSN： 0928-0707  CODEN： JSGTEC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： エチレングリコール含有量が異なるPZT(ジルコニウム酸チタン酸鉛)前駆体溶液をステンレス鋼にスピンコーティングし,PZT薄膜を作製した。微細構造,内部応力,誘電性,強誘電性に対するエチレングリコール含有量の影響を検討した。エチレングリコール含有量(0から50%)の増加と共に誘電率と残留分極は増加し,誘電損失は減少した。しかし,50%以上のエチレングリコール含有量では,ゾルが不安定で作製が不可能であった。エチレングリコールを含むPZT前駆体溶液から作製したPZT薄膜はエチレングリコールを含まないPZT前駆体溶液から作製した薄膜よりも優れた誘電性,強誘電性を示し,高出力キャパシタの作製に有効と思われる。

シソーラス用語： *ゾル-ゲル法 ,  *ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  薄膜成長 ,  強誘電性 ,  スピンコーティング ,  微細構造 ,  内部応力 ,  誘電率 ,  残留分極 ,  誘電損失 ,  化学組成 ,  脂肪族アルコール ,  ジオール
準シソーラス用語： PZT【鉛化合物】

分類 (2件)： 物理化学一般その他  (CB01030T) ,  強誘電体,反強誘電体,強弾性  (BM05030B)

物質索引 (1件)： エチレングリコール

タイトルに関連する用語 (7件)： エチレングリコール ,  ゾル-ゲル法 ,  調製 ,  PZT ,  薄膜 ,  誘電性 ,  強誘電性