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J-GLOBAL ID:201702246489267348   整理番号:17A0573651

高アスペクト比マイクロミリング加工ピンの幾何的精度

On the Geometrical Accuracy of High Aspect Ratio Micromilled Pins
著者 (5件):
資料名:
巻: 139  号:ページ: 051002.1-051002.14  発行年: 2017年05月 
JST資料番号: C0657A  ISSN: 1087-1357  CODEN: JMSEFK  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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マイクロミリングにおけるマイクロフィーチャの幾何的精度は,切断パラメータの選択に関連する。高アスペクト比金属マイクロピンは,マイクロモールド技術分野,マイクロエレクトロメカニカルシステム,および生物医学装置のような種々の産業用途に採用され,その幾何的精度はその機能にとって基本的な特性である。直径100μm高さ2mm(したがってアスペクト比20)のピンの幾何的精度およびマイクロミリング加工パラメータとの関係に行いて述べた。ピンの幾何的誤差特徴を三次元光学測定値で測定し,次に加工プロセスセットアップを支援するため切断パラメータとの相関をとった。チェビシェフ関数に基づく適切なフィッティングを適用し,統計解析により,切削条件に関連する各偏差成分の重要性を評価した。最後に,部品幾何学誤差と切削力との相関を分析した。切削力解析は,オンライン幾何的誤差評価または補償方法を実施するための従来の機械加工を採用した。
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分類 (1件):
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フライス加工 
タイトルに関連する用語 (3件):
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