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J-GLOBAL ID：201702246572515037   整理番号：17A0792466

ノルボルネニル 4 フェノール:溶解速度特性,ポジティブトーンフォトパターニング,及び重合体の性質の重合体【Powered by NICT】

Polymers of norbornenyl-4-phenol: Dissolution rate characteristics, positive tone photo-patterning, and polymer properties

著者 (10件)： Evans Paul J. (Promerus, LLC, 9921 Brecksville Road, Brecksville, OH, 44141) ,  Brick Chad M. (Promerus, LLC, 9921 Brecksville Road, Brecksville, OH, 44141) ,  Bell Andrew (Promerus, LLC, 9921 Brecksville Road, Brecksville, OH, 44141) ,  Kandanarachchi Pramod (Promerus, LLC, 9921 Brecksville Road, Brecksville, OH, 44141) ,  Thoresen Jennifer (Promerus, LLC, 9921 Brecksville Road, Brecksville, OH, 44141) ,  Rhodes Larry F. (Promerus, LLC, 9921 Brecksville Road, Brecksville, OH, 44141) ,  Onishi Osamu (HPP Technical Development Laboratory, Sumitomo Bakelike Co., Ltd., 2100 Takayanagi, Fujieda, Shizuoka, 426-0041, Japan) ,  Ikeda Haruo (HPP Technical Development Laboratory, Sumitomo Bakelike Co., Ltd., 2100 Takayanagi, Fujieda, Shizuoka, 426-0041, Japan) ,  Benedikt George M. (Lubrizol Advanced Materials, 9911 Brecksville Road, Brecksville, OH, 44141) ,  Koronich Elaine (Lubrizol Advanced Materials, 9911 Brecksville Road, Brecksville, OH, 44141)
資料名： Journal of Applied Polymer Science  (Journal of Applied Polymer Science)
巻： 134  号： 24  ページ： ROMBUNNO.44952  発行年： 2017年 
JST資料番号： C0467A  ISSN： 0021-8995  CODEN： JAPNAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： フェノールペンダント基を有するビニル付加ノルボルネンポリマーは4-アセトキシフェニルノルボルネン重合体のメタノーリシスによって得た。ヘキサフルオロアルコールペンダント基を持つノルボルネンポリマー,及びジアゾナフトキノン化合物のような添加剤を混合したこのポリマの薄膜を,テトラメチルアンモニウムヒドロキシド現像液中の直線的な溶解をもたらした。良好な分解能,ポジパターンはフェノールペンダントノルボルネン単独重合体とフェノールとヘキサフルオロアルコール両ペンダント基を持つノルボルネン共重合体とジアゾナフトキノン添加剤のブレンドの薄膜の像露光から得た。透明性,誘電率,化学的および熱抵抗のような特性は,エポキシ架橋剤を含む橋かけ共重合体組成を決定した。Copyright 2017 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 共重合体 ,  添加剤 ,  熱抵抗 ,  *溶解速度 ,  露光 ,  薄膜 ,  共重合 ,  *重合体 ,  現像液 ,  誘電率 ,  分解能 ,  シクロアルケン ,  架橋化合物 ,  フェノール類
準シソーラス用語： 透明性 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： ジアゾナフトキノン ,  誘電体 ,  ノルボルネニル 4 フェノール ,  光パターン形成法 ,  ポリ(ノルボルネン)

分類 (1件)： 高分子固体のその他の性質  (CG02025L)

物質索引 (3件)： ノルボルネン ,  フェノール ,  テトラメチルアンモニウムヒドロキシド

タイトルに関連する用語 (4件)： フェノール ,  溶解速度 ,  重合体 ,  性質