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J-GLOBAL ID：201702246782297608   整理番号：17A1576914

915MHzマイクロ波プラズマ化学蒸着による高い熱伝導率を有する4つの直径の多結晶ダイヤモンドウエハの成長【JST・京大機械翻訳】

著者 (9件)： A F POPOVICH (INSTITUTE OF RADIO ENGINEERING AND ELECTRONICS OF RUSSIAN ACADEMY OF SCIENCES, FRYAZINO 141190, RUSSIA ;GENERAL PHYSICS INSTITUTE OF RUSSIAN ACADEMY OF SCIENCES, MOSCOW 119991, RUSSIA) ,  V G RALCHENKO (HARBIN INSTITUTE OF TECHNOLOGY, HARBIN 150001, PEOPLE’S REPUBLIC OF CHINA ;GENERAL PHYSICS INSTITUTE OF RUSSIAN ACADEMY OF SCIENCES, MOSCOW 119991, RUSSIA ;NATIONAL RESEARCH NUCLEAR UNIVERSITY MEPHI, MOSCOW 115409, RUSSIA) ,  V K BALLA (CENTRAL GLASS AND CERAMIC RESEARCH INSTITUTE, KOLKATA 700 032, INDIA) ,  A K MALLIK (CENTRAL GLASS AND CERAMIC RESEARCH INSTITUTE, KOLKATA 700 032, INDIA) ,  A A KHOMICH (INSTITUTE OF RADIO ENGINEERING AND ELECTRONICS OF RUSSIAN ACADEMY OF SCIENCES, FRYAZINO 141190, RUSSIA ;GENERAL PHYSICS INSTITUTE OF RUSSIAN ACADEMY OF SCIENCES, MOSCOW 119991, RUSSIA) ,  A P BOLSHAKOV (GENERAL PHYSICS INSTITUTE OF RUSSIAN ACADEMY OF SCIENCES, MOSCOW 119991, RUSSIA ;NATIONAL RESEARCH NUCLEAR UNIVERSITY MEPHI, MOSCOW 115409, RUSSIA) ,  D N SOVYK (GENERAL PHYSICS INSTITUTE OF RUSSIAN ACADEMY OF SCIENCES, MOSCOW 119991, RUSSIA ;NATIONAL RESEARCH NUCLEAR UNIVERSITY MEPHI, MOSCOW 115409, RUSSIA) ,  E E ASHKINAZI (GENERAL PHYSICS INSTITUTE OF RUSSIAN ACADEMY OF SCIENCES, MOSCOW 119991, RUSSIA ;NATIONAL RESEARCH NUCLEAR UNIVERSITY MEPHI, MOSCOW 115409, RUSSIA) ,  V Yu YUROV (GENERAL PHYSICS INSTITUTE OF RUSSIAN ACADEMY OF SCIENCES, MOSCOW 119991, RUSSIA ;NATIONAL RESEARCH NUCLEAR UNIVERSITY MEPHI, MOSCOW 115409, RUSSIA)
資料名： Dengliziti Kexue he Jishu(Yingwenban)  (Dengliziti Kexue he Jishu(Yingwenban))
巻： 19  号： 3  ページ： 93-97  発行年： 2017年 
JST資料番号： C2608A  ISSN： 1009-0630  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 種々のプロセスパラメータで915MHzのマイクロ波プラズマ化学蒸着(MPCVD)により直径100mmの多結晶ダイヤモンド(PCD)膜を成長させ,それらの熱伝導率(TC)を230~380Kの温度範囲におけるレーザフラッシュ法(LFT)により評価した。膜の相純度と品質を,Ramanスペクトルのピーク幅とスペクトル中の非晶質炭素(a-C)の存在に基づくマイクロRaman分光法により評価した。温度に対するTCの依存性の減少と増加は,それぞれ,高品質試料と低品質試料に対して見出された。室温での1950±230Wm-1K-1という高いTCを最も完全な材料について測定した。室温におけるTCと膜に対するRamanスペクトルにおけるダイヤモンド成分の割合の間の線形相関を確立した。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *ダイヤモンド ,  純度 ,  プロセスパラメータ ,  品質 ,  顕微Raman分光法 ,  温度依存性 ,  Ramanスペクトル ,  *熱伝導率 ,  スペクトル
準シソーラス用語： 線形相関 ,  高品質 ,  アモルファスカーボン ,  レーザフラッシュ法 ,  温度範囲 ,  *多結晶ダイヤモンド ,  *マイクロ波プラズマCVD , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (6件)： マイクロ波プラズマ化学蒸着 ,  熱伝導率 ,  直径 ,  多結晶ダイヤモンド ,  ウエハ ,  成長