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J-GLOBAL ID：201702246943483155   整理番号：17A1506416

Ga,Alおよび(Al+Ga)をドープしたZnO薄膜の構造と光学的性質の特性化【Powered by NICT】

Characterization of the structural and optical properties of ZnO thin films doped with Ga, Al and (Al+Ga)

著者 (5件)： Lung C. (Babes-Bolyai University, Physics Faculty, M. Kogalniceanu No. 1, 400084, Cluj-Napoca, Romania) ,  Toma M. (Babes-Bolyai University, Physics Faculty, M. Kogalniceanu No. 1, 400084, Cluj-Napoca, Romania) ,  Pop M. (Technical University of Cluj, Faculty of Material Engineering and Environment, 103- 105 Muncii Avenue, 400641, Cluj-Napoca, Romania) ,  Marconi D. (Department of Molecular and Biomolecular Physics, National Institute for Research and Development of Isotopic and Molecular Technologies, Cluj-Napoca, Romania) ,  Pop A. (Babes-Bolyai University, Physics Faculty, M. Kogalniceanu No. 1, 400084, Cluj-Napoca, Romania)
資料名： Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)
巻： 725  ページ： 1238-1243  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0925-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： AlドープZnO(AZO),GaドープZnO(GZO)と共ドープしたAl+GaをドープしたZnO(AGZO)の透明薄膜をRFマグネトロンスパッタリングによりソーダ石灰ガラス上に堆積した。薄膜の構造と光学的性質に及ぼす酸化亜鉛(ZnO)膜中のアルミニウムとガリウム濃度の影響を調べた。XRDの結果は,得られた膜は六方晶ウルツ鉱型構造を持ち,基板表面に垂直に優先的に配向していることを示した。原子間力顕微鏡(A FM)は,ドーピング型が薄膜の微細構造を変化させることを証明した。Raman分光法は,局所レベルでの複雑な酸化物の構造特性を研究した。ドーパント量が増加すると光透過測定は,透明膜の僅かな減少を示した。AlとGa含有量の増加と共にAZO膜の光学バンドギャップのシフトは,キャリア濃度の増大を示唆した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *光学的性質 ,  光透過 ,  キャリア密度 ,  ソーダ石灰ガラス ,  *ドーピング ,  *酸化亜鉛 ,  *ガリウム ,  微細構造 ,  *アルミニウム ,  ドーパント ,  *薄膜 ,  光学ギャップ ,  Raman分光法
準シソーラス用語： ウルツ鉱型構造 ,  RFマグネトロンスパッタリング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： CoドープZnO薄膜 ,  RFマグネトロンスパッタリング ,  XRD ,  A FM ,  Raman ,  光透過

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： Ga ,  Al ,  ドープ ,  ZnO薄膜 ,  光学的性質 ,  特性化