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J-GLOBAL ID：201702246949310937   整理番号：17A0911471

3Dプリントモールドによるポリジメチルシロキサンエラストマ誘電体層微細構造を用いた高感度フレキシブルな静電容量圧力センサ【Powered by NICT】

High Sensitivity Flexible Capacitive Pressure Sensor Using Polydimethylsiloxane Elastomer Dielectric Layer Micro-Structured by 3-D Printed Mold

著者 (4件)： Zhuo Bengang (Department of Electronic Engineering, National Engineering Laboratory of TFT-LCD Materials and Technologies, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai, China) ,  Chen Sujie (Department of Electronic Engineering, National Engineering Laboratory of TFT-LCD Materials and Technologies, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai, China) ,  Zhao Mingmin (Department of Electronic Engineering, National Engineering Laboratory of TFT-LCD Materials and Technologies, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai, China) ,  Guo Xiaojun (Department of Electronic Engineering, National Engineering Laboratory of TFT-LCD Materials and Technologies, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai, China)
資料名： IEEE Journal of the Electron Devices Society  (IEEE Journal of the Electron Devices Society)
巻： 5  号： 3  ページ： 219-223  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2429A  ISSN： 2168-6734  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 三次元印刷は容量フレキシブル圧力センサ中のポリジメチルシロキサン(PDMS)エラストマ誘電体層をマイクロ構造化のための金型を作製した。モールドを製造するための使用されている市販の3Dプリンタの限られた分解能にもかかわらず,微細構造化PDMS層を用いて作製したセンサは微細加工シリコンウエハモールドを用いた以前の研究よりも高い感度を達成できることを示した。デバイスは,非常に低い検出限界,迅速な応答/回復速度,優れた耐久性と周囲温度と湿度の変化に対する良好な耐性,リアルタイムで弱いヒト生理学的信号を信頼性高くモニターできるを示した。応用例として,柔軟な圧力センサを手首パルスを監視するためのウェアラブルシステムに統合した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *センサ ,  *高感度 ,  *三次元 ,  微細加工 ,  *静電容量 ,  湿度 ,  *誘電体 ,  信頼性 ,  検出限界 ,  *圧力センサ ,  分解能 ,  *微細構造 ,  耐久性
準シソーラス用語： ミクロ構造 ,  三次元印刷 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： リモートセンシング一般  (AD04000L) ,  レーダ  (ND13010H)

タイトルに関連する用語 (6件)： 3D ,  モールド ,  微細構造 ,  高感度 ,  静電容量 ,  圧力センサ