炭化チタン/炭素被覆層の性質に及ぼす位置を標的とする基質の影響【Powered by NICT】

Daniel Josef; Soucek Pavel; Zabransky Lukas; Bursikova Vilma; Stupavska Monika; Vasina Petr

文献

J-GLOBAL ID：201702247145151648 整理番号：17A1560541

炭化チタン/炭素被覆層の性質に及ぼす位置を標的とする基質の影響【Powered by NICT】

On the effect of the substrate to target position on the properties of titanium carbide/carbon coatings

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資料名：
巻： 328 ページ： 462-468 発行年： 2017年
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

炭化チタン/炭素被覆は,アセチレンを含む雰囲気中でのチタンスパッタリングのハイブリッドPVD-PECVDプロセスにより堆積した。試料は析出した皮膜の性質に及ぼすターゲット位置に相対的な基板の影響を調べるために標的へのチタンターゲット中心上と同じ垂直距離のターゲットレーストラックの上に置いた。試料の異なる位置は成長コーティングへのエネルギー流入の有意に異なるレベルをもたらした。基板でこれらの異なる条件が被覆の化学と相組成の変化をもたらした。,粒径,格子定数,平均結晶粒分離は,エネルギー流束変化の影響を受けた。炭素含有量≦60%のレーストラック以上で堆積した被覆は,より小さな結晶粒,より高い量a-C相と高い平均結晶粒分離を示した。ミクロ組織の微細化は,ターゲット中心以上で堆積した対応する被覆よりもターゲットレーストラック以上で堆積した被覆の20 30%高い硬度が得られた。,チャンバ内の試料位置決めは,析出した皮膜の得られた特性のための重要なパラメータであることが分かった。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

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スパッタリング , その他の無機化合物の薄膜

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