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J-GLOBAL ID：201702247241528247   整理番号：17A0407587

閃光焼結による化学溶液析出によるLa_0 6Sr_0 4CoO_3+δ薄膜の迅速製作【Powered by NICT】

Rapid fabrication of chemical-solution-deposited La_0.6Sr_0.4CoO_3-δ thin films via flashlight sintering

著者 (6件)： Park Jun-Sik (Department of Mechanical Engineering, Hanyang University, Haengdang-dong, Seongdong-gu, Seoul, 133-791, South Korea) ,  Chung Wan-Ho (Department of Mechanical Engineering, Hanyang University, Haengdang-dong, Seongdong-gu, Seoul, 133-791, South Korea) ,  Kim Hak-Sung (Department of Mechanical Engineering, Hanyang University, Haengdang-dong, Seongdong-gu, Seoul, 133-791, South Korea) ,  Kim Hak-Sung (Institute of Nano Science and Technology, Hanyang University, Seoul, 133-791, South Korea) ,  Kim Young-Beom (Department of Mechanical Engineering, Hanyang University, Haengdang-dong, Seongdong-gu, Seoul, 133-791, South Korea) ,  Kim Young-Beom (Institute of Nano Science and Technology, Hanyang University, Seoul, 133-791, South Korea)
資料名： Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)
巻： 696  ページ： 102-108  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0925-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,キセノンフラッシュライト照射によるランタンストロンチウムコバルタイト(La_0 6Sr_0 4CoO_3δ,LSCO)薄膜の作製のための強力パルス光(IPL)焼結法の焼結効果を実証した。LSCO薄膜を有機金属化学溶液堆積(MOCSD)法によりシリコン(100)ウエハ上に被覆し,フラッシュライト照射プロセスは室温条件下で瞬時に先行した。フラッシュライト照射した膜の特性を参照標的として熱的に焼結したものと比較した。電気的性質,表面形態,および結晶化度を四点プローブ装置,FE-SEM,およびXRDを用いてフラッシュライト焼結法の有効性を評価するためにそれぞれ観察された。フラッシュライト焼結プロセスは,周囲室温下でミリ秒で達成手続きであることを考慮すると,この方法は便利で利用可能な焼結プロセスを実現するための従来の熱焼結プロセスからのいくつかの問題を回避できる可能性がある。本研究の意義は,湿式化学溶液法により作製したペロブスカイト型酸化物のキセノンフラッシュライト焼結法の実証にある。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 酸化物 ,  プローブ ,  電気的性質 ,  薄膜 ,  *焼結 ,  X線回折 ,  結晶度
準シソーラス用語： コバルタイト ,  電界放出型走査電子顕微鏡 ,  表面形態 ,  パルス光 ,  LSCO ,  *化学溶液堆積 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 化学溶液堆積 ,  ペロブスカイト酸化物 ,  ランタンストロンチウム輝コバルト鉱 ,  強力パルス光焼結

分類 (2件)： セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V) ,  圧粉,焼結  (WC02030X)

タイトルに関連する用語 (5件)： 閃光 ,  焼結 ,  化学溶液析出 ,  薄膜 ,  製作