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J-GLOBAL ID：201702247475889068   整理番号：17A1689132

陰極アーク蒸着法によるTi/TiC/TiN被覆の開発および特性評価

Development and Characterization of Ti/TiC/TiN Coatings by Cathodic Arc Evaporation Technique

著者 (3件)： BADIGER Pradeep V. (National Inst. of Technol. Karnataka, Mangaluru, IND) ,  DESAI Vijay (National Inst. of Technol. Karnataka, Mangaluru, IND) ,  RAMESH M. R. (National Inst. of Technol. Karnataka, Mangaluru, IND)
資料名： Transactions of the Indian Institute of Metals  (Transactions of the Indian Institute of Metals)
巻： 70  号： 9  ページ： 2459-2464  発行年： 2017年 
JST資料番号： E0277A  ISSN： 0972-2815  CODEN： TIIMA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： インド (IND)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 化学蒸着(CVD)を用いた金属窒化物および金属炭化物被覆の応用が広い分野で拡大している。CVDの中でも,陰極アーク蒸着(CAE)は最も実用的である。本研究では,CAE法によりMDN121高合金鋼上にTi/TiC/TiN多層被覆を蒸着し,微細組織,表面性状,表面形態,機械的性質などを評価した。被覆層の層厚および表面粗さは,それぞれ1.79μmおよび2.56nmであった。被覆は均一,緻密で細孔がなく,GAXRDにおいてTi,TiCおよびTiNのピークが確認された。ナノインデンテーションにより,硬さは5.60GPa,弾性係数は297.6GPaと測定された。RamanデータによりDLC(ダイヤモンド状炭素),TiCおよびTiNの存在が確認された。

シソーラス用語： 表面改質 ,  *表面被覆 ,  イオンめっき ,  多層膜 ,  炭化チタン ,  チタン化合物 ,  窒化物 ,  チタン ,  ダイヤモンド状炭素 ,  *微細構造 ,  表面性状 ,  表面粗さ ,  *機械的性質 ,  ナノインデンテーション ,  微小硬さ ,  弾性係数 ,  堆積速度 ,  高合金鋼 ,  X線回折分析 ,  走査電子顕微鏡 ,  エネルギー分散X線分光分析 ,  Ramanスペクトル ,  トポグラフィー【形態】
準シソーラス用語： *陰極アーク蒸着 ,  窒化チタン ,  微細組織 ,  FE-SEM ,  表面トポグラフィー

分類 (3件)： 気相めっき  (WC08022K) ,  組織的硬化現象  (WB01020C) ,  機械的性質  (WB02030U)

タイトルに関連する用語 (6件)： 陰極アーク蒸着 ,  Ti ,  TiC ,  TiN被覆 ,  開発 ,  特性評価