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J-GLOBAL ID：201702247638260347   整理番号：17A0344260

ER_2O_3薄膜の結晶構造と結晶度に及ぼす温度とHE累積損傷の影響を研究した。【JST・京大機械翻訳】

Effects of temperature and He cumulative damage on Er_2O_3 film phase structure and crystallinity

著者 (6件)： Shi Yunlong (Department of Physics,Sichuan University) ,  Lao Yuanxia (Key Laboratory for Radiation Physics and Technology of Ministry of Education,Institute of Nuclear Science and Technology,Sichuan University) ,  Wang Ling (Key Laboratory for Radiation Physics and Technology of Ministry of Education,Institute of Nuclear Science and Technology,Sichuan University) ,  Zhang Haibing (Institute of Nuclear Physics and Chemistry,CAEP) ,  Deng Aihong (Department of Physics,Sichuan University) ,  Wang Yuan (Key Laboratory for Radiation Physics and Technology of Ministry of Education,Institute of Nuclear Science and Technology,Sichuan University)
資料名： Sichuan Daxue Xuebao. Zirankexueban  (Sichuan Daxue Xuebao. Zirankexueban)
巻： 53  号： 6  ページ： 1340-1344  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2595A  ISSN： 0490-6756  CODEN： SCTHAO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 反応性マグネトロンスパッタリング法を用いて,ER_2O_3薄膜を調製し,X線回折(XRD),電界放出型走査電子顕微鏡(SEM)を用いて,HE含有ER_2O_3薄膜の結晶化,断面,および表面形態を特性評価した。500°Cでのアニーリング後に,ER_2O_3薄膜の構造は安定しており,700°Cでアニールしたとき,ER_2O_3薄膜は,単斜晶相から立方晶相へと変化した。しかし,HEを含有するER_2O_3薄膜の結晶度はHEの存在形態に関連している可能性がある。CanHai量が小さい場合には,HE気泡が形成されず,HEの導入によりER_2O_3薄膜の結晶度が低下した。CanHai量の増加に伴い、HE泡の形成は高い内圧をもたらすが、高圧下ではER_2O_3の単斜晶は更に安定しやすい。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 焼なまし ,  高圧 ,  結晶化 ,  *薄膜 ,  単斜晶系 ,  *結晶構造 ,  気泡 ,  X線回折 ,  キャラクタリゼーション ,  *結晶度 ,  内圧
準シソーラス用語： 表面形態 ,  電界放出型走査電子顕微鏡 ,  反応性マグネトロンスパッタリング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： Er_2O_3 film ,  Phase stable ,  He damage

分類 (1件)： 金属酸化物及び金属カルコゲン化物の結晶構造  (BK07020Y)

タイトルに関連する用語 (6件)： 薄膜 ,  結晶構造 ,  結晶度 ,  He ,  累積損傷 ,  研究