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J-GLOBAL ID：201702247681025458   整理番号：17A1619550

波長シフト干渉計を用いた昇温下での段差を持つ粗面の3次元形状計測

3D-shape Measurement of a Step-like Rough Surface under Temperature Rising by using Wavelength Shift Interferometer

著者 (1件)： 安達正明 (金沢大学 ベンチャービジネスラボラトリー)
資料名： 精密工学会誌(Web)  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering (Web))
巻： 83  号： 10  ページ： 949-955(J-STAGE)  発行年： 2017年 
JST資料番号： U0462A  ISSN： 1882-675X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本文は,ランダム位相シフト下で捉えるスペックル干渉図形を用いたステップ型粗面3次元形状計測を開発した。この方式は捕捉した干渉図形間の位相シフト量を求め,干渉図形の位相分布を抽出し,波長変化対位相変換比を全ピクセルで抽出し,この比率から3次元形状を求める。室温~400°Cの半田ごて先端部の3次元形状を計算したが,室温以外では測定できず,新しいシフト位相差マップを導入し,300°C程度までの高精度3次元形状計測に成功し,400°C付近でも精度低下するが全体形状を十分に認識可能なことを確かめた。

シソーラス用語： *機械要素 ,  *三次元 ,  *形状測定 ,  階段形 ,  *粗面 ,  *スペックル干渉法 ,  位相 ,  位相シフト ,  干渉計 ,  *昇温
準シソーラス用語： ランダム位相 ,  干渉図形 ,  波長シフト

著者キーワード (10件)： 3D shape measurement ,  rough surface ,  speckle interferometer ,  phase extraction ,  temperature rising ,  3D shape measurement ,  rough surface ,  speckle interferometer ,  phase extraction ,  temperature rising

分類 (2件)： 機械要素一般  (QB01010L) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (10件)：

• 1) 吉澤徹編, 三次元光学1-光三次元計測, 新技術コミュニケーションズ, (1998).
• 2) J.S.Massa, G.S.Buller, A.C.Walker, S.Cova, M.Umasuthan, and A.M.Wallance, Time-of-flight optical ranging system based on time-correlated single-photon counting, Appl.Opt.,37,31(1998) 7298.
• 3) Jesse Zheng, Optical frequency-modulated continuous-wave interferometers, Appl.Opt.,45,12(2006) 2723.
• 4) 安達, 佐々木, 光路差がランダムに変動する状況下での波長シフト干渉計を用いた粗面の3次元形状計測, 精密工学会誌, 82, 4 (2016) 384.
• 5) M.Adachi, S.Sunada, Phase-shift extraction from twice-normalized light intensity changes recorded with random phase shifts, Optical Review, 21, 5 (2014) 522.

タイトルに関連する用語 (6件)： 波長シフト ,  干渉計 ,  昇温 ,  段差 ,  粗面 ,  3次元形状計測