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J-GLOBAL ID：201702247681179097   整理番号：17A1358169

三次元指向性を有する非常に低速空気流の検出のための風速計【Powered by NICT】

Anemometer for detection of very low speed air flow with three-dimensional directionality

著者 (5件)： Luo Zhongliang (Peking University Shenzhen Graduate school, 518055, China) ,  Li Zhe (Institute of Microelectronics, Beijing, 100871, China) ,  Gao Chengchen (Institute of Microelectronics, Beijing, 100871, China) ,  Hao Yilong (Institute of Microelectronics, Beijing, 100871, China) ,  Jin Yufeng (Peking University Shenzhen Graduate school, 518055, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： NEMS  ページ： 615-618  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,新しいセンサと非常に低速空気流の測定を示した。微細加工センサは一点での空気流の方向と速度の三次元(3D)検出を実現するために,前向きに二モノリシック集積直交細胞を含んでいた。各セル(vent)は二方向に敏感である,白金(354μmのピッチを持つ)の五抵抗ビームによって形成された五線配置を持っている。16.7mm/sから167mm/sと測定され,良好な再現性を示し,その方向性を示した。速度分布をシミュレートし,結果は,自然対流による50mm/sの速度の理論的下限,誘起された角度依存オフセット電圧はより低い速度のより正確な計算を考慮に入れることができるに対応していた。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *低速度 ,  微細加工 ,  速度分布 ,  *空気流 ,  直交性 ,  *三次元 ,  自然対流 ,  *風速計 ,  *指向性 ,  角度依存性 ,  センサ ,  再現性
準シソーラス用語： オフセット電圧 ,  モノリシック集積化 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (5件)： 対流・放射熱伝達  (PA02030K) ,  鶏  (FD03020F) ,  粉体工学  (XD03010M) ,  燃焼一般  (XE04010W) ,  流体の実験・試験・測定方法及び装置  (BC01020K)

タイトルに関連する用語 (4件)： 指向性 ,  低速 ,  空気流 ,  風速計