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J-GLOBAL ID：201702247711654658   整理番号：17A0997879

ナノ構造Cu薄膜の微細構造発達と塑性変形に及ぼすZr合金化の効果【Powered by NICT】

Zr alloying effect on the microstructure evolution and plastic deformation of nanostructured Cu thin films

著者 (8件)： Zhao J.T. (State Key Laboratory for Mechanical Behavior of Materials, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, 710049, China) ,  Zhang J.Y. (State Key Laboratory for Mechanical Behavior of Materials, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, 710049, China) ,  Cao L.F. (College of Materials Science and Engineering, Chongqing University, 400044, China) ,  Wang Y.Q. (State Key Laboratory for Mechanical Behavior of Materials, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, 710049, China) ,  Zhang P. (State Key Laboratory for Mechanical Behavior of Materials, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, 710049, China) ,  Wu K. (State Key Laboratory for Mechanical Behavior of Materials, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, 710049, China) ,  Liu G. (State Key Laboratory for Mechanical Behavior of Materials, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, 710049, China) ,  Sun J. (State Key Laboratory for Mechanical Behavior of Materials, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, 710049, China)
資料名： Acta Materialia  (Acta Materialia)
巻： 132  ページ： 550-564  発行年： 2017年 
JST資料番号： A0316A  ISSN： 1359-6454  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マグネトロンスパッタリング法はZr添加0~7.0at.%の範囲でLaB6ベースCu薄膜を調製した。Zrドーピングでの微細構造は,透過型電子顕微鏡と原子プローブ断層撮影法を用いて特性化した。Cu-Zr合金膜の塑性変形特性(硬さ,歪速度感受性および活性化体積)はナノインデンテーション試験を用いて調べた。微細構造に及ぼす有意なZrドーピング効果は,(i)Zrは粒界に偏析したことが明らかになったと粒界構造を調整した。Zr添加の増加と共に,粒界(3.0at.%Zr)と三次元CuZr非晶質粒界ネットワーク(7.0at.%Zr)でCuZr非晶質粒子が形成された;(ii)結晶粒(大きさと形態)とナノ双晶はZrドーピングによって有意な影響を及ぼした。特に,ナノ双晶厚さは純Cu膜における~25nmから還元したCu-Zr合金膜における~5nmまでであった。ミクロ組織の進展に伴い,Cu-Zr薄膜はZrドーピング,すなわち,Zr添加を高めるとともに減少する歪速度感受性が硬度の増加に非常に敏感である硬さと歪速度感受性を示した。強化と変形機構は,微細構造-特性関係の観点から考察した。三つのレジームを研究Zrドーピング範囲内で分けた:純Cu膜の領域Iの結晶粒/ナノ双晶境界支配強化機構,Zr添加の領域II≦3.0at.%の転位核形成制御されたナノ双晶軟化機構,およびZr添加の領域IIIにおける粒界非晶質層媒介強化機構7.0at.%に達した。さらに,Zrをドープした歪速度感度の低下は,有効な転位セグメント長に基づく熱的に活性化された部分転位のピン止め解除機構を含むモデルを採用することにより定量的に記述した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 硬度 ,  マグネトロンスパッタリング ,  *微細構造 ,  *ジルコニウム ,  *ナノ構造 ,  結晶粒界 ,  *塑性変形 ,  歪速度 ,  非晶質 ,  *銅 ,  結晶粒 ,  *ジルコニウム合金 ,  核形成
準シソーラス用語： ナノ双晶 ,  歪速度感受性 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： ナノ構造Cu薄膜 ,  Zr合金化 ,  粒界偏析 ,  塑性変形 ,  の強化機構

分類 (1件)： 機械的性質  (WB02030U)

タイトルに関連する用語 (7件)： ナノ構造 ,  Cu ,  薄膜 ,  微細構造 ,  発達 ,  塑性変形 ,  Zr合金