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J-GLOBAL ID:201702248285011837   整理番号:17A1720906

非晶質FeGaSiB薄膜の磁気特性に及ぼすAr圧力の影響【Powered by NICT】

Influence of Ar Pressure on the Magnetic Properties of Amorphous FeGaSiB Thin Films
著者 (4件):
資料名:
巻: 53  号: 11  ページ: ROMBUNNO.2502504.1-4  発行年: 2017年 
JST資料番号: A0339B  ISSN: 0018-9464  CODEN: IEMGAQ  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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50nm厚磁歪非晶質FeSiBとFeGaSiB薄膜はAr圧力(4~8 μbar)のCoスパッタリング蒸発法で成長させた膜内のGa比率を制御し,磁気的,構造的,および磁気ひずみ特性に及ぼすそれらの効果を研究した。X線回折により,すべての膜が非晶質構造を持ち,のみピークはSi基板の存在することが分かった。磁気光学Kerr効果磁力計を用いて,FeSiB膜に対して,異方性磁場(H_k)は徐々に増加し圧力が増加するとことが分かった,一方,FeGaSiB膜に対して,飽和磁場(H_s)は全ての圧力≒4000。膜集合の両方に対して,保磁力(H_c)は800以下であった。FeSiB薄膜の磁歪定数(λ_s)は圧力の増加と共に増加した。がFeGaSiB膜に対しては,磁歪定数は最も低い圧力4 μbarでスパッタリングガス圧,最大λ_s=11.4ppm,の増加とともに減少した。,Ga原子の添加は膜内の固有応力を減少させることを決定し,非晶質形態を維持した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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分類 (2件):
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磁性材料  ,  金属結晶の磁性 
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