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J-GLOBAL ID:201702248750627256   整理番号:17A0350673

液晶基板ガラスプロセスにおける粒子重ね合わせ図の応用【JST・京大機械翻訳】

Application of particle superposition diagram in the process of TFT-LCD substrate glass
著者 (4件):
資料名:
巻: 38  号: 12  ページ: 20-22  発行年: 2016年 
JST資料番号: C2179A  ISSN: 1009-0134  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 中国語 (ZH)
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TFT-LCD液晶基板ガラスの半加工時に粒子を発生しやすいプロセスと装置の状況を紹介し,粒子の度超標が下流のLCDパネルの生産に与える影響について紹介した。策Keの粒度基準値の問題を解決するために,本論文では,MESシステムに粒子重畳グラフデータの解析機能を導入し,実際の生産ラインに適用することに成功し,その効果は顕著であった。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】
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