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J-GLOBAL ID：201702248852651367   整理番号：17A0526762

多重帯域フィルタを用いたロバストなSEM自動焦点合せアルゴリズム

A robust SEM auto-focus algorithm using multiple band-pass filters

著者 (3件)： HARADA Minoru (Hitachi, Ltd, Kanagawa, JPN) ,  OBARA Kenji (Hitachi High-Technol. Corp., Ibaraki, JPN) ,  NAKAMAE Koji (Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名： Measurement Science and Technology  (Measurement Science and Technology)
巻： 28  号： 1  ページ： 015403,1-10  発行年： 2017年01月 
JST資料番号： C0354C  ISSN： 0957-0233  CODEN： MSTCEP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 走査電子顕微鏡(SEM)用の多重帯域フィルタを用いた自動焦点合せアルゴリズムを提案した。「焦点測度」を計算するための帯域フィルタを設計する方法を示した。多重帯域フィルタを用いて広い周波数応答を実現し,様々な画像に対して最適固有周波数応答を得た。多重帯域フィルタを独立に用いて,二組の焦点測度を計算し,焦点位置を推定し,ピーク位置推定の信頼度に従って選択した。焦点深度内で精度を実現するために必要な画像SN比を,擬似画像を用いたシミュレーションにより決定した。欠陥検査SEMの実際の画像を用いた実験では,自動焦点合せの成功率がこれ迄の79%から96%へ向上した。

シソーラス用語： *焦点合せ ,  *走査電子顕微鏡 ,  半導体プロセス ,  アルゴリズム ,  *帯域フィルタ ,  フィルタ設計 ,  測度 ,  欠陥検査 ,  顕微鏡観察
準シソーラス用語： *自動焦点合せ ,  焦点測度

分類 (1件)： 光学的測定とその装置一般  (BD07010S)

タイトルに関連する用語 (6件)： 多重 ,  帯域フィルタ ,  ロバスト ,  SEM ,  自動焦点合せ ,  アルゴリズム