抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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有機ELパネル製造プロセスで主流となっているのが蒸着方式で,真空環境で材料を加熱,気化させてEL層を形成していている。有機EL製造装置市場では,現在のところ日系メーカーであるキャノントッキ社とアルバック社がTOPメーカとして認識されており,韓国メーカーが追従しているのが現状である。有機EL製造装置の中で高付加価値化が狙えるとして注目されているのが蒸着装置である。キャノントッキ社は2016年に基板サイズG6Hのモバイル用高精細有機ELパネル量産装置を開始している。同社の装置は,搬送室を中心にし,その周囲に蒸着室などを配置している。アルバック社の装置は,バックプレーンのスパッタリング装置,有機EL蒸着装置,薄膜封止装置と有機ELパネル製造プロセスの主要装置を網羅している。