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J-GLOBAL ID：201702249505593059   整理番号：17A0869542

非晶質ダイアモンドライクカーボンの水素透過率

Hydrogen permeability of diamondlike amorphous carbons

著者 (2件)： Tamura Motonori (Center for Industrial and Governmental Relations, The University of Electro-Communications, 1-5-1 Chofugaoka, Chofu, Tokyo 182-8585, Japan) ,  Kumagai Tai (TS Nanocoat Corporation 2-1-19 Surugadai, Kanda, Chiyoda-Ku, Tokyo 101-0062, Japan)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 35  号： 4  ページ： 04D101-04D101-8  発行年： 2017年07月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 窒化物と非晶質ダイアモンドライクカーボン(DLC)の被膜の水素障壁特性を評価した。プラズマ化学気相堆積法とスパッタ法を利用して,ZrN,TiAlN,AlCrN,CrN,およびDLC被膜を,約3μmの膜厚で堆積した。全ての被膜が,水素の透過率の低下に大きな効果があることが確認された。特に,ステンレス鋼をDLCで被覆すると,水素の透過率は,被覆のない場合に比べて1/1000かそれ以下に低下した。Cr-Nのバッファ層を使うことで,水素障壁機能は向上した。被膜中の水素の拡散にとって,水素の捕獲サイトを通じた原子の動きが重要である。DLC被膜中にはsp³およびsp²結合が双方存在し,過剰な水素は層間空間と前述の水素捕獲サイトとに見出すことができる。高い水素含有量でのDLC被膜中の水素捕獲サイトはすでに水素原子で占められており,新たな水素原子の運動が制限されることが示唆される。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *非晶質 ,  ダイヤモンド状炭素 ,  *水素 ,  *DLC膜 ,  プラズマCVD ,  スパッタ蒸着 ,  *透過 ,  *ステンレス鋼 ,  *クロム化合物 ,  *窒化物 ,  *バッファ層 ,  ジルコニウム化合物 ,  チタン化合物 ,  アルミニウム化合物 ,  窒化クロム ,  気体透過
準シソーラス用語： DLC【炭素】 ,  ガス透過

分類 (1件)： 気体の輸送現象  (BJ01022N)

タイトルに関連する用語 (2件)： 非晶質 ,  水素透過率