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J-GLOBAL ID：201702249864883165   整理番号：17A1731144

革新的超高温ハイブリッドSAWセンサのための最適設計【Powered by NICT】

Optimal design for an innovative very-high-temperature hybrid SAW sensor

著者 (2件)： Nicolay Pascal (Carinthian Tech Research CTR AG, VILLACH, Austria) ,  Naumenko Natalya (National University of Science and Technology “MISIS”, Russian Federation)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： IUS  ページ： 1  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 無線センサが必要である,900°C以上の温度に耐えることができた。SAW技術に基づく有望な解を開発し,各種の技術的問題について論じてきた。センサの住宅の材料安定性,電極の脱濡れと損傷は長年にわたって取り組まれている主要な問題のいくつかである。しかし,長時間まだのために非常に高い温度に耐えることができSAWセンサをされていない。の可能な解決策は,SAWセンサを非常に高温に停止することであると,トランスポンダのみとしてそれを使用した。センシングは熱電対によって,薄い高圧電層に接続した低温接合,SAWトラック上にできた。熱電対によって発生した電圧は,表面歪,SAWセンサのRF応答に影響するに移転される。この概念は400MHzで実験的に試験し,YZ LN[1]上に蒸着したAlN層を用いた。本論文では,音響挙動を解析し,センサの2.45GHz版の設計を最適化し,埋め込まれたPt電極であったことを理論的研究の方法論と結果を提示した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 電圧 ,  *高温 ,  *最適設計 ,  *超高温 ,  白金 ,  熱電対 ,  トランスポンダ ,  最適化 ,  高圧 ,  *センサ ,  音響 ,  窒化アルミニウム
準シソーラス用語： 表面歪 ,  無線センサ ,  *SAWセンサ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 弾性表面波デバイス  (NC03120T) ,  温度測定,温度計  (AD06010K)

タイトルに関連する用語 (3件)： 超高温 ,  SAWセンサ ,  最適設計