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J-GLOBAL ID：201702249883083010   整理番号：17A1208162

自由形状光学素子の超精密3軸フライス加工のための誤り訂正方法論【Powered by NICT】

Error correction methodology for ultra-precision three-axis milling of freeform optics

著者 (4件)： Owen J.D. (Center for Precision Metrology, Department of Mechanical Engineering and Engineering Science, University of North Carolina at Charlotte, Charlotte, NC, USA) ,  Shultz J.A. (Center for Optoelectronics and Optical Communications, Department of Physics and Optical Sciences, University of North Carolina at Charlotte, Charlotte, NC, USA) ,  Suleski T.J. (Center for Optoelectronics and Optical Communications, Department of Physics and Optical Sciences, University of North Carolina at Charlotte, Charlotte, NC, USA) ,  Davies M.A. (Center for Precision Metrology, Department of Mechanical Engineering and Engineering Science, University of North Carolina at Charlotte, Charlotte, NC, USA)
資料名： CIRP Annals. Manufacturing Technology  (CIRP Annals. Manufacturing Technology)
巻： 66  号： 1  ページ： 97-100  発行年： 2017年 
JST資料番号： E0026A  ISSN： 0007-8506  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 自由形状光学系は光学設計についての革新的研究方法を容易にする。超精密ダイヤモンド加工は自由形状光学の製造を可能にする技術である。しかし,光学設計はミクロ粗さ全体形~空間波長間の狭い許容差を必要とする。必要な公差に自由形状光学を製造するために,多軸ダイヤモンドミリングに適用できる新しい:誤差低減法を開発した。試験球に示されたように,方法論は,194から40nmまでのRMS試験球表面上の主要な誤差源を減少させた。同程度の誤差レベルを達成するアプローチはそれに従って一つの事例,自由形状の光学設計に適用することに成功した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 公差 ,  光学設計 ,  *光学素子 ,  多軸 ,  ダイヤモンド ,  *誤り訂正 ,  波長 ,  *フライス加工 ,  球面 ,  光学系
準シソーラス用語： 誤差低減 ,  三軸 ,  *超精密 ,  *自由形状 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： 超精密 ,  計測 ,  自由形状光学

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (7件)： 自由形状 ,  光学素子 ,  超精密 ,  3軸 ,  フライス加工 ,  誤り訂正 ,  方法論