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J-GLOBAL ID：201702250034677812   整理番号：17A0614355

若手研究者を中心とした研究・技術開発の取り組み 準大気圧高繰り返しパルス放電プラズマを用いた材料表面改質技術

著者 (1件)： 菊池祐介 (兵庫県大)
資料名： 電気評論  (Electrical Review)
巻： 102  号： 5  ページ： 71-75  発行年： 2017年05月10日 
JST資料番号： G0720A  ISSN： 0285-5860  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本稿では,SiC-MOSFETインバータ電源を使用した準大気圧高繰返しパルス放電プラズマ生成技術,及び材料表面改質技術としてこのプラズマ生成技術を用いたダイヤモンドライクカーボン(DLC)成膜について報告した。

シソーラス用語： *研究者 ,  *研究開発 ,  *技術開発 ,  *気圧 ,  *測定精度 ,  *パルス放電 ,  *プラズマ ,  *材料 ,  *表面改質 ,  炭化ケイ素 ,  MOSFET ,  インバータ ,  電源装置 ,  プラズマ生成 ,  ダイヤモンド状炭素 ,  構成
準シソーラス用語： *若手研究者 ,  *繰返し性 ,  *放電プラズマ ,  電源 ,  成膜

分類 (2件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I) ,  プラズマ応用  (BJ02110K)

タイトルに関連する用語 (7件)： 若手研究者 ,  研究 ,  開発 ,  大気圧 ,  パルス放電 ,  プラズマ ,  表面改質