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J-GLOBAL ID：201702250041371209   整理番号：17A0500475

新しいレーザー加工の新展開 ナノ秒レーザー加工によるナノ・マイクロ結晶合成

著者 (1件)： 中村大輔 (九大)
資料名： Optronics  (Optronics)
号： 424  ページ： 144-148  発行年： 2017年04月10日 
JST資料番号： Y0019A  ISSN： 0286-9659  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本稿では,レーザーアブレーションを利用したナノ・マイクロ結晶合成とその応用について紹介した。はじめに,NAPLD法による酸化亜鉛ナノ結晶合成と応用について述べた。NAPLD装置の基本構造は従来のPLD法と同じであるが,雰囲気ガスの圧力を数Torr以上に高くすることで,薄膜ではなくナノ結晶が得られる。さらに,ガス圧力やターゲットへの不純物添加によって成長する結晶形状が大きく変化する。次に,レーザーアブレーションによるZnOマイクロ結晶球合成について述べた。

シソーラス用語： *レーザ加工 ,  *レーザアブレーション ,  *ナノ粒子 ,  *パルスレーザ蒸着 ,  *酸化亜鉛 ,  結晶構造 ,  ミクロスフェア ,  *ナノロッド ,  *ナノワイヤ ,  光干渉 ,  干渉縞 ,  パターン形成 ,  *結晶成長 ,  薄膜成長 ,  Nd-YAGレーザ
準シソーラス用語： NAPLD ,  微小球 ,  ナノウォール ,  干渉パターン ,  結晶合成

分類 (2件)： 特殊加工  (QC04000Y) ,  レーザの応用  (BD04100V)

タイトルに関連する用語 (4件)： レーザー加工 ,  展開 ,  ナノ秒レーザー加工 ,  マイクロ結晶