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J-GLOBAL ID:201702250582325601   整理番号:17A0962433

剛性,可撓性および伸縮性の基板上のフリップチップ接合特性の比較:第II報 適合基板上のフリップチップ接合

Comparison of Flip-Chip Bonding Characteristics on Rigid, Flexible, and Stretchable Substrates: Part II. Flip-Chip Bonding on Compliant Substrates
著者 (3件):
資料名:
巻: 58  号:ページ: 1217-1222(J-STAGE)  発行年: 2017年 
JST資料番号: G0668A  ISSN: 1345-9678  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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フレキシブルプリント回路基板(FPCB)および伸縮可能なFPCB/ポリジメチルシロキサン(FPCB/PDMS)基板上で異方性導電接着剤(ACA)を用いて処理したフリップチップ継手の接触抵抗およびミクロ組織の特性評価を行った。FPCB基板上では,接合圧力が10MPaから200MPaに上昇すると,接触抵抗が56.9mΩから13.3mΩに著しく低下した。しかし,300MPaの接合圧力では,それは実質的に74.8mΩに増加し,±37.7mΩの過度の偏差を有していた。より適合するFPCB/PDMS基板では,接合圧力が10MPaから50MPaに上昇すると,接触抵抗は43.2mΩから31.2mΩに減少した。FPCB/PDMS基板のひどい歪みが50MPaを超える接合圧力でPDMSが柔らかいために生じた。より適合する基板では,フリップチッププロセスのための適切な接合圧力がより低い。(翻訳著者抄録)
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 
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