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J-GLOBAL ID：201702250771485527   整理番号：17A0852314

スピンバルブの垂直パッケージングによるpTesla Detectivities最小センサフットプリントの維持に向けて【Powered by NICT】

Toward pTesla Detectivities Maintaining Minimum Sensor Footprint With Vertical Packaging of Spin Valves

著者 (4件)： Silva Marilia (INESC- Microsistemas e Nanotecnologias, Lisbon, Portugal) ,  Leitao Diana C. (INESC- Microsistemas e Nanotecnologias, Lisbon, Portugal) ,  Cardoso Susana (INESC- Microsistemas e Nanotecnologias, Lisbon, Portugal) ,  Freitas Paulo P. (INESC- Microsistemas e Nanotecnologias, Lisbon, Portugal)
資料名： IEEE Transactions on Magnetics  (IEEE Transactions on Magnetics)
巻： 53  号： 4  ページ： ROMBUNNO.4400405.1-5  発行年： 2017年 
JST資料番号： A0339B  ISSN： 0018-9464  CODEN： IEMGAQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 磁気抵抗(MR)マイクロメータセンサの雑音レベルの低減がしばしばセンサ面積の増加及び/又は大規模アレイにおけるMR素子を接続することによって達成した。本論文では,ウエハ上にMRセンサによる占有面積を増加させることなく検出面積を増加するために革新的な戦略を導入し,従ってセンサフットプリントを最小化した。,アイデアは,スピンバルブ(SV)膜,絶縁体で分離されたを垂直に堆積することである。充填構造は,一般的な騒音低減戦略として,並列および直列に接続した,アレイに組み込んだ。計算を用いて,垂直充填(Z),一連の複合(X元素)と平行(Y元素)SVの数を検討した,磁場の検出能を最小化する,最適形状を得ることができることを示した。熱雑音限界のSVセンサの磁場検出は総数5000SVのZ=10の総数500SV(面内分布)のZ=1 39pT/Hz~1/2改善12pT/Hz~1/2することができた。に加えて,デバイスフットプリントは0.7mm~2(Z=1)から0.07mm~2に減少することを実証した(Z=10)。これらの検出限界は,磁束コンセントレータを用いた単一SVセンサとの競争,製造段階(少なくとも三)と高空間分解能の利点を持つ。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 熱雑音 ,  *センサ ,  磁場 ,  検出限界 ,  磁気抵抗素子 ,  磁気抵抗 ,  磁束 ,  絶縁体 ,  雑音指数 ,  生産工程
準シソーラス用語： 高空間分解能 ,  最適形状 ,  検出能 ,  騒音低減 ,  *スピンバルブ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 磁電デバイス  (NC03100X) ,  磁気の計測法・機器  (AD07060U) ,  電子・磁気・光学記録  (NC06020F)

タイトルに関連する用語 (3件)： スピンバルブ ,  垂直 ,  パッケージング