文献

J-GLOBAL ID：201702250772957524   整理番号：17A0296385

CVDダイヤモンド薄膜のテーパアレイレーザマイクロマシニングの実験的研究を行った。【JST・京大機械翻訳】

Experimental Studyon Laser ProcessingArrayed Conical Micro-Holes of CVD Diamond Films

著者 (4件)： Wang Peng (School of Electromechanical Engineering,Guangdong University of Technology) ,  Zhang Fenglin (School of Electromechanical Engineering,Guangdong University of Technology) ,  Liu Wenguang (School of Electromechanical Engineering,Guangdong University of Technology) ,  Ouyang Chengda (School of Electromechanical Engineering,Guangdong University of Technology)
資料名： Jiguang Yu Dianzixue Jinzhan  (Jiguang Yu Dianzixue Jinzhan)
巻： 53  号： 11  ページ： 111402-1-111402-9  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2698A  ISSN： 1006-4125  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： ファイバレーザパルスレーザを用いて,化学蒸着によりダイヤモンド膜を加工し,レーザ走査速度,走査時間,パルス幅などのパラメータの影響を調べた。その結果,レーザ走査速度はミクロ孔サイズにほとんど影響しないことが分かった。レーザ走査の回数は,出口の直径に明らかに影響を及ぼした。レーザパルス幅の増加とともに,微小孔の深さと出口の直径は増加したが,ミクロ孔径は減少した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： パルス幅 ,  化学蒸着 ,  レーザパルス ,  *走査 ,  *ダイヤモンド膜
準シソーラス用語： レーザ走査 ,  *実験研究 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： laser technique ,  arrayed conical micro-holes ,  fiber laser ,  CVD diamond film ,  micro-machining

分類 (1件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S)

タイトルに関連する用語 (3件)： CVD ,  ダイヤモンド薄膜 ,  実験的研究