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J-GLOBAL ID：201702250988923769   整理番号：17A0381575

大面積超音波アクチュエータのための透明圧電変換器【Powered by NICT】

Transparent piezoelectric transducers for large area ultrasonic actuators

著者 (7件)： Sette Daniele (Department of Materials Research and Technology, Luxembourg Institute of Science and Technology, Luxembourg) ,  Girod Stephanie (Department of Materials Research and Technology, Luxembourg Institute of Science and Technology, Luxembourg) ,  Godard Nicolas (Department of Materials Research and Technology, Luxembourg Institute of Science and Technology, Luxembourg) ,  Adjeroud Noureddine (Department of Materials Research and Technology, Luxembourg Institute of Science and Technology, Luxembourg) ,  Chemin Jean-Baptiste (Department of Materials Research and Technology, Luxembourg Institute of Science and Technology, Luxembourg) ,  Leturcq Renaud (Department of Materials Research and Technology, Luxembourg Institute of Science and Technology, Luxembourg) ,  Defay Emmanuel (Department of Materials Research and Technology, Luxembourg Institute of Science and Technology, Luxembourg)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： MEMS  ページ： 793-796  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,超音波駆動のためのガラス基板上の透明圧電変換器の作製に焦点を当てた。透明ジルコニウム酸チタン酸鉛(PZT)薄膜をゾル-ゲル法とフォトリソグラフィーによりパターン形成したInterDigital電極(IDE)後のガラス上に成長させた。電極設計は,アクチュエータスタックの透明性と共に活性圧電材料の体積を最適化した。アクチュエータは高伝達能力を提供するd_33モードで使用されるが,IDE設計はcm~2範囲でアクチュエータの面積の増加を可能にした。結果は,超音波範囲共振周波数(100kHz)と完全に透明なアクチュエータをガラス基板上に作製できることを示した。これらのアクチュエータの直接応用は表面粗さの触覚のための触覚装置である。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： ガラス ,  最適化 ,  ゾル-ゲル法 ,  *超音波 ,  共振周波数 ,  フォトリソグラフィー ,  *アクチュエータ ,  ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  触覚 ,  パターン形成
準シソーラス用語： 透明性 ,  電極設計 ,  ガラス基板 ,  *圧電変換器 ,  *大面積 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 大面積 ,  超音波 ,  アクチュエータ ,  圧電変換器