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J-GLOBAL ID：201702251089897294   整理番号：17A1721523

埋め込まれた温度センシング能力を備えたGaN膜支持されたSAW圧力センサ【Powered by NICT】

GaN Membrane Supported SAW Pressure Sensors With Embedded Temperature Sensing Capability

著者 (10件)： Muller Alexandru (IMT-Bucharest, Bucharest, Romania) ,  Konstantinidis George (Microelectronics Research Group of the Foundation for Research and Technology-Hellas in Heraklion, Heraklion, Crete, Greece) ,  Giangu Ioana (IMT-Bucharest, Bucharest, Romania) ,  Adam Gina C. (IMT-Bucharest, Bucharest, Romania) ,  Stefanescu Alexandra (IMT-Bucharest, Bucharest, Romania) ,  Stavrinidis Antonis (Microelectronics Research Group of the Foundation for Research and Technology-Hellas in Heraklion, Heraklion, Crete, Greece) ,  Stavrinidis George (Microelectronics Research Group of the Foundation for Research and Technology-Hellas in Heraklion, Heraklion, Crete, Greece) ,  Kostopoulos Athanasios (Microelectronics Research Group of the Foundation for Research and Technology-Hellas in Heraklion, Heraklion, Crete, Greece) ,  Boldeiu George (IMT-Bucharest, Bucharest, Romania) ,  Dinescu Adrian (IMT-Bucharest, Bucharest, Romania)
資料名： IEEE Sensors Journal  (IEEE Sensors Journal)
巻： 17  号： 22  ページ： 7383-7393  発行年： 2017年 
JST資料番号： W1318A  ISSN： 1530-437X  CODEN： ISJEAZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,1.2μmの薄いGaN膜上のGHz動作する表面音響波(SAW)ベース圧力センサの作製と特性化を提示した。二種類の交差指形変換器の指と指間間隔幅,一百七十nmと200nmハーフピッチを得るために電子ビームナノリソグラフィーを用いて製造されている。マイクロマシニング技術を用いて,1.2μmの薄い膜を得ることである。,圧力感度,s_pだけでなく,周波数の圧力係数(PCF),SAWの共鳴周波数シフトは1~7barの圧力範囲で,両Rayleighだけでなく対称Lamb伝搬モードのための,決定し,実験的に解析した。s_p(6MHzまで/バー)とPCF(最大537ppm/バー)の記録値が得られ,特に対称Lamb伝搬モードも非常に高い周波数動作(5-11.5 GHz)に起因した。周波数応答と感度に及ぼすSAWデバイス([1100]と[1120]方向における)の異なる配向の影響についても解析した。二重センサとして動作する同じSAW構造の圧力と温度を同時に決定する可能性を実証した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： キャラクタリゼーション ,  電子ビーム ,  周波数 ,  弾性表面波素子 ,  弾性表面波 ,  マイクロマシニング ,  *圧力センサ ,  *センサ ,  *窒化ガリウム ,  共振周波数 ,  対称性 ,  周波数応答
準シソーラス用語： 圧力係数 ,  ナノリソグラフィー ,  ハーフピッチ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 弾性表面波デバイス  (NC03120T) ,  力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V) ,  分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (6件)： 温度センシング ,  能力 ,  GaN ,  支持 ,  SAW ,  圧力センサ