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J-GLOBAL ID：201702251151100766   整理番号：17A1919502

新規MEMS振動リングジャイロスコープの設計と製作【Powered by NICT】

Design and fabrication of a novel MEMS vibrating ring gyroscope

著者 (7件)： Kou Zhiwei (Science and Technology on Electronic Test and Measurement Laboratory, North University of China, Taiyuan, China) ,  Liu Jun (Science and Technology on Electronic Test and Measurement Laboratory, North University of China, Taiyuan, China) ,  Cao Huiliang (Science and Technology on Electronic Test and Measurement Laboratory, North University of China, Taiyuan, China) ,  Feng Hengzhen (Science and Technology on Electronic Test and Measurement Laboratory, North University of China, Taiyuan, China) ,  Ren Jianjun (Science and Technology on Electronic Test and Measurement Laboratory, North University of China, Taiyuan, China) ,  Kang Qiang (Science and Technology on Electronic Test and Measurement Laboratory, North University of China, Taiyuan, China) ,  Shi Yunbo (Science and Technology on Electronic Test and Measurement Laboratory, North University of China, Taiyuan, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： ITOEC  ページ： 131-134  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 新しい振動リングジャイロスコープを提案し,構造は軸対称リング共振器と静電容量変換器を採用した。リング共振器の運動特性と静電容量電極の設定を詳細に検討した。シミュレーション結果は,ジャイロスコープの動作モードの固有共振周波数は8.805kHzと8.807kHzであり,周波数分裂は2Hzであることを示した。リング共振器の動作モードの動特性を解析した。ジャイロスコープの角感度モデルを確立した。最後に,キャパシタ電極をもつ振動リングジャイロスコープを作製し,その優位性を準備を確認した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 周波数 ,  変換器 ,  リング共振器 ,  共振周波数 ,  軸対称性 ,  運転モード ,  静電容量 ,  シミュレーション ,  コンデンサ ,  *ジャイロスコープ ,  *MEMS

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  振動の励起・発生・測定  (BB02030Z) ,  力学  (BA04000D)

タイトルに関連する用語 (4件)： MEMS ,  ジャイロスコープ ,  設計 ,  製作