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J-GLOBAL ID：201702251167752390   整理番号：17A0397583

化学-機械研磨時の潤滑性とトライボ-電気化学性能改善における酸化鉄ナノ粒子の役割

The Role of Ferric Oxide Nanoparticles in Improving Lubricity and Tribo-Electrochemical Performance During Chemical-Mechanical Polishing

著者 (4件)： TOTOLIN Vladimir (AC2T res. GmbH, Wiener Neustadt, AUT) ,  GOECERLER Hakan (AC2T res. GmbH, Wiener Neustadt, AUT) ,  RIPOLL Manel Rodriguez (AC2T res. GmbH, Wiener Neustadt, AUT) ,  JECH Martin (AC2T res. GmbH, Wiener Neustadt, AUT)
資料名： Tribology Letters  (Tribology Letters)
巻： 65  号： 1  ページ： 20,1-12  発行年： 2017年03月 
JST資料番号： W1933A  ISSN： 1023-8883  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 研磨材スラリ中に酸化鉄を混入することにより,鋼材表面の潤滑性が改善することが知られている。本論文では,AISI304SS表面の化学-機械研磨(CMP)時に,酸化鉄ナノ粒子と硝酸の組み合せスラリを使うことによって生成する不動態膜の潤滑特性を調べた。実験結果は,高濃度硝酸中の酸化鉄ナノ粒子の高い含有量によって,優れた潤滑性と耐食性が実現することを示した。酸化鉄を含まない場合には,孔食と研磨摩耗が生じた。

シソーラス用語： *トライボロジー ,  *電気化学 ,  *改良 ,  *ナノ粒子 ,  *研磨剤 ,  *耐食性 ,  *性質
準シソーラス用語： *性能改善 ,  *酸化鉄ナノ粒子 ,  *潤滑性

分類 (1件)： 潤滑一般  (QB02010S)

タイトルに関連する用語 (7件)： 化学 ,  機械研磨 ,  潤滑 ,  電気化学 ,  性能改善 ,  酸化鉄ナノ粒子 ,  役割