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J-GLOBAL ID：201702251514068936   整理番号：17A1036172

溶融石英マイクロワイングラス共振器の方向性ラッピングによる周波数分割還元【Powered by NICT】

Frequency split reduction by directional lapping of fused quartz micro wineglass resonators

著者 (3件)： Wang Yusheng (MicroSystems Laboratory, Department of Mechanical and Aerospace Engineering, University of California, Irvine, 92697, USA) ,  Asadian Mohammad H. (MicroSystems Laboratory, Department of Mechanical and Aerospace Engineering, University of California, Irvine, 92697, USA) ,  Shkel Andrei M. (MicroSystems Laboratory, Department of Mechanical and Aerospace Engineering, University of California, Irvine, 92697, USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： INERTIAL  ページ： 78-81  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 方向性ラッピングによる溶融石英マイクロワイングラス共振器の永久周波数分裂低減に関する研究を提示した。技術を用いて,周波数分裂(2ワイングラスモード)のほぼ6倍減少を示した。過程は二段階を含んでいた。最初に,弾性(PAE)の主軸の方位は共振器のモード形状を測定することにより決定した。,方向性ラッピングはPAEに関する情報に基づいて行った。三素子方向性ラッピング法により後処理し,周波数分裂は予測されたように減少し,技術の実現可能性を実証した。周波数分裂の減少は構造等方性の改善および動的MEMSの全体性能に直接相関する,速度と速度積分ジャイロスコープのような。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 等方性 ,  *ラッピング ,  主軸 ,  *石英ガラス ,  MEMS ,  *周波数逓降 ,  *共振器 ,  積分 ,  *周波数 ,  後処理 ,  *指向性 ,  ジャイロスコープ ,  弾性
準シソーラス用語： 振動モード形 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 半導体レーザ  (BD04070L)

タイトルに関連する用語 (6件)： 溶融石英 ,  共振器 ,  方向性 ,  ラッピング ,  周波数分割 ,  還元