抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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中間圧力と低電子ビーム強度におけるアルゴン電子ビームの時間発展を示した。安定なビーム電流に及ぼす20Hzの周波数による振幅変調を適用することによって,プラズマ発展を研究した。Faradayカップを用いて電子ビーム電流の測定を行い,イオン電流の測定には単一静電プローブを用いた。実験結果から,イオン電流は200Paから3000Paまでの圧力範囲において電子ビーム電流により,20mAより低いビーム電流範囲において,残留密度は対数プロットにおける最大密度とともにほぼ直線的に増加し,フィッティング係数は圧力に対して無関係であることが示された。そして,3種類の速度論モデルを開発し,励起原子の考慮なしに,速度論モデルによって与えられたシミュレーション結果は,実験結果にほとんど近づいた。このことは,プラズマ密度に対する励起原子の効果が中間圧力と低電子ビーム電流強度で無視できることを示し,それは速度論モデルを大きく単純化できる。最後に,ビーム電流が突然オフされたときのプラズマ密度の減少を簡単化したモデルに基づいて研究し,中間圧力でのデセase特性は低い電子ビーム強度での高圧でのものに近似し,実験結果と良く一致することが分かった。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】