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J-GLOBAL ID：201702251667874535   整理番号：17A1474887

超短レーザパルスを用いた銅の選択性レーザ融解

Selective laser melting of copper using ultrashort laser pulses

著者 (9件)： KADEN Lisa (Friedrich-Schiller-Univ. Jena, Jena, DEU) ,  MATTHAEUS Gabor (Friedrich-Schiller-Univ. Jena, Jena, DEU) ,  ULLSPERGER Tobias (Friedrich-Schiller-Univ. Jena, Jena, DEU) ,  ENGELHARDT Hannes (Friedrich-Schiller-Univ. Jena, Jena, DEU) ,  RETTENMAYR Markus (Friedrich-Schiller-Univ. Jena, Jena, DEU) ,  TUENNERMANN Andreas (Friedrich-Schiller-Univ. Jena, Jena, DEU) ,  TUENNERMANN Andreas (Fraunhofer Inst. for Applied Optics and Precision Engineering, Jena, DEU) ,  NOLTE Stefan (Friedrich-Schiller-Univ. Jena, Jena, DEU) ,  NOLTE Stefan (Fraunhofer Inst. for Applied Optics and Precision Engineering, Jena, DEU)
資料名： Applied Physics. A. Materials Science & Processing  (Applied Physics. A. Materials Science & Processing)
巻： 123  号： 9  ページ： 596,1-6  発行年： 2017年09月 
JST資料番号： D0256C  ISSN： 0947-8396  CODEN： APHYCC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高熱伝導率のため一般には加工困難な銅に対し,超短パルスレーザによる選択性レーザ融解及び粉末ベッド法を用いて追加加工を行う方法を示した。光源には,中心波長1030nm,MHz繰返し速度の500fsレーザパルスを用いた。詳しいパラメータ研究を行い,僅か20Wの平均パワー及び数100mm/sの走査速度を用いて,プロセスウィンドウを確認できた。こうして固体立方骨及び100μm以下の厚さを持つ薄壁構造を実現できた。これらの構造は,液化粉末粒子の完全併合中に生成された溶融ビーズの形成により規定され,高アスペクト比を持つ堅牢な構造が製作可能になった。高精度を持つ純銅素子の製作の成功は,微小電子デバイスの実現や新しいヒートシンクの設計を可能にする。

シソーラス用語： *超短パルスレーザ ,  *銅 ,  *レーザ融解 ,  フェムト秒レーザ ,  レーザ出力 ,  速度 ,  許容範囲 ,  アスペクト比 ,  固体素子 ,  ヒートシンク ,  *付加製造 ,  パルスレーザ照射 ,  3Dプリンタ
準シソーラス用語： *選択性レーザ融解 ,  走査速度 ,  プロセスウィンドウ ,  高アスペクト比 ,  微小デバイス

分類 (2件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： レーザパルス ,  銅 ,  選択性レーザ融解