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J-GLOBAL ID：201702251872573552   整理番号：17A1555278

COMSOLに基づくピエゾ抵抗センサのシミュレーション設計【Powered by NICT】

Simulation design of piezoresistive sensors based on COMSOL

著者 (3件)： Mo Zhu-Er (School of Mechanical and Electrical Engineering, Guilin University of Electronic Technology, China) ,  Wei Qi-Qin (School of Mechanical and Electrical Engineering, Guilin University of Electronic Technology, China) ,  Xiao Jing (School of Mechanical and Electrical Engineering, Guilin University of Electronic Technology, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： ICEPT  ページ： 992-995  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコン製造技術の急速な発展に伴い,シリコンは,基板材料拡散型圧力センサは多くの利点を持っているので,小型パッケージ寸法,軽量,高速応答,簡単な構造である。に加えて,抵抗性圧力センサは良好な線形性を示した。本論文では,新しい圧電抵抗圧力センサ構造を提案した。提案した構造は,四端子抵抗から構成されている。正方膜は四端子抵抗に埋め込まれている。膜は歪んだ場合,差ポテンシャルによる四端子抵抗誘起差圧をもたらすであろう。ピエゾ抵抗抵抗器の差動電圧によれば,圧力の大きさを計算することができる。筆者らのシミュレーション結果は,ダイヤフラムは,1.2μm,100kPaの圧力下で変位を持つことを示した。の与えられた簡単な等方性モデルによると,4μmの大きさを予測した。筆者らのシミュレーション結果は,合理的であり,局所応力は予測式の値と同じであった。装置とドーピング濃度の大きさを考慮すると,モデルは運転中に予測した結果と良い一致を示した。提案したピエゾ抵抗センサ構造は,従来のピエゾ抵抗センサに比べて多くの利点,高い感度,良好な線形性,抗干渉能などを有している。ピエゾ抵抗センサは油圧システム,安全管理システム,射出成形,監視鉱山圧力と圧縮機に広く適用できる。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 抵抗器 ,  高速度 ,  *シミュレーション ,  電圧 ,  圧力センサ ,  圧縮機 ,  線形性 ,  ケイ素 ,  安全管理 ,  ダイヤフラム ,  *センサ ,  生産技術 ,  射出成形
準シソーラス用語： 高速応答 ,  *圧電抵抗 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

タイトルに関連する用語 (4件)： COMSOL ,  ピエゾ抵抗センサ ,  シミュレーション ,  設計