文献

J-GLOBAL ID：201702251951639028   整理番号：17A0397230

磁歪効果を用いた温度補償型SAWベース電流センサの高感度化

Enhanced sensitivity of temperature-compensated SAW-based current sensor using the magnetostrictive effect

著者 (6件)： WANG Wen (Inst. of Acoustics, Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN) ,  JIA Yana (Inst. of Acoustics, Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN) ,  LIU Xinlu (Inst. of Acoustics, Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN) ,  LIANG Yong (Inst. of Acoustics, Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN) ,  XUE Xufeng (Inst. of Acoustics, Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN) ,  DU Zaofu (Central iron and steel res. inst., Beijing, CHN)
資料名： Smart Materials and Structures  (Smart Materials and Structures)
巻： 26  号： 2  ページ： 025008,1-10  発行年： 2017年02月 
JST資料番号： W0480A  ISSN： 0964-1726  CODEN： SMSTER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,新規の磁歪効果と弾性表面波(SAW)ベースの電流センサを開発した。このセンサは差分SAW遅延線発振器とSAWの伝搬経路に沿って堆積した磁歪FeCo薄膜を組み込んだ構成とした。センサは,圧電基板として128°YXカットLiNbO₃を使用した。これにより速い音速と大きな電気機械結合係数を得ることで,SAWチップの挿入損を低減した。FeCo蒸着時に温度効果を補償し,金属電極に効果的な保護を加えるために,LiNbO₃と逆の周波数温度係数(TCF)を持つSiO₂薄膜で,パターン化された交差指形変換器(IDT)圧電基板表面を被覆した。理論的解析により,より高い感度をもたらすための最適設計パラメータを決定した。開発した300MHz SAW電流センサは,電流に対して16.6KHz/A(即ち磁場に対して8.3KHz/mT)の高感度,0.2mAの低検出限界,良好な直線性が得られた。FeCo薄膜の厚さとアスペクト比はそれぞれ500nmと2:1であった。

シソーラス用語： *磁歪 ,  温度補償 ,  *弾性表面波 ,  *電流センサ ,  高感度 ,  遅延線 ,  発振器 ,  経路 ,  鉄 ,  コバルト ,  ニオブ酸リチウム ,  結合係数 ,  挿入損 ,  信号変換器 ,  アスペクト比 ,  検出限界
準シソーラス用語： 差分 ,  伝搬経路 ,  電気機械結合係数 ,  交差指形変換器

分類 (3件)： 電流,電圧,電荷の計測法・機器  (AD07020C) ,  弾性表面波デバイス  (NC03120T) ,  金属の磁気異方性・磁気機械効果  (BM06102S)

タイトルに関連する用語 (5件)： 磁歪 ,  温度補償 ,  SAW ,  電流センサ ,  高感度化