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J-GLOBAL ID：201702252055856355   整理番号：17A1501855

SiO_2/Si層状系のナノ秒レーザパルス照射による直交重畳レーザ誘起周期表面構造(LIPSS)【Powered by NICT】

Orthogonally superimposed laser-induced periodic surface structures (LIPSS) upon nanosecond laser pulse irradiation of SiO₂/Si layered systems

著者 (9件)： Nuernberger Philipp (Department of Chemistry, Philipps-University Marburg, Hans-Meerwein-Strasse 4, 35032 Marburg, Germany) ,  Reinhardt Hendrik M. (Department of Chemistry, Philipps-University Marburg, Hans-Meerwein-Strasse 4, 35032 Marburg, Germany) ,  Kim Hee-Cheol (Department of Chemistry, Philipps-University Marburg, Hans-Meerwein-Strasse 4, 35032 Marburg, Germany) ,  Pfeifer Erik (Department of Chemistry, Philipps-University Marburg, Hans-Meerwein-Strasse 4, 35032 Marburg, Germany) ,  Kroll Moritz (Department of Chemistry, Philipps-University Marburg, Hans-Meerwein-Strasse 4, 35032 Marburg, Germany) ,  Mueller Sandra (Department of Chemistry, Philipps-University Marburg, Hans-Meerwein-Strasse 4, 35032 Marburg, Germany) ,  Yang Fang (Ningbo Institute of Industrial Technology (CNITECH), Chinese Acadamy of Sciences (CAS), No.1219 Zhongguan West Road, Zhenhai District, Ningbo, 315201 Zhejiang, PR China) ,  Hampp Norbert A. (Department of Chemistry, Philipps-University Marburg, Hans-Meerwein-Strasse 4, 35032 Marburg, Germany) ,  Hampp Norbert A. (Materials Science Center, 35032 Marburg, Germany)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 425  ページ： 682-688  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,上に二酸化けい素(SiO_2)の厚さに依存してシリコン(Si)上のレーザ誘起周期表面構造(LIPSS)の形成を検討した。LIPSSは繰返し速度100kHzで2.41Jcm~ 2のパルスあたりフルエンスと直線偏光≒8ナノ秒レーザパルスにより空気中で生成した。SiO_2層<80nmでは,レーザ偏光方向に垂直に配向したLIPSSが得られたが,SiO_2層>120nmで平行に配向したLIPSSが観察された。いずれの場合も周期性はレーザ波長(λ_0=532nm)の約80 90%であった。80nm 120nmの範囲でSiO_2層の厚さの変化によって,支配的な配向が変化した。レーザ波長のわずか60%の周期性をもつ直交も,重なったLIPSSが見出された。LIPSSの方位方向の転移が酸化物層への表面プラズモンポラリトン(SPP)場の侵入深さに関連することを示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *直交性 ,  二酸化ケイ素 ,  *畳込み ,  *パルス ,  *レーザ ,  *表面構造 ,  フルエンス ,  偏光 ,  直線偏光
準シソーラス用語： 表面プラズモンポラリトン ,  周期性 ,  二層 ,  繰返し速度 ,  *レーザ誘起 ,  *ナノ秒レーザ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： レーザ誘起周期的表面構造 ,  シリコン ,  シリコンdioxide ,  二層システム ,  表面プラズモンポラリトン

分類 (2件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： Si層 ,  ナノ秒レーザ ,  パルス照射 ,  重畳 ,  レーザ誘起 ,  周期表 ,  面構造