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J-GLOBAL ID：201702252072098197   整理番号：17A1634824

狭い膜構造を用いたシリコンミリ波アンテナと受動部品【Powered by NICT】

On-silicon millimeter-wave antennas and passive components using narrow film structures

著者 (3件)： Rashidian A. (Department of Electrical and Computer Engineering, The University of Manitoba, Winnipeg, Manitoba, Canada) ,  Shafai C. (Department of Electrical and Computer Engineering, The University of Manitoba, Winnipeg, Manitoba, Canada) ,  Shafai L. (Department of Electrical and Computer Engineering, The University of Manitoba, Winnipeg, Manitoba, Canada)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： APWC  ページ： 213-216  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 狭く,薄膜構造を用いた低抵抗シリコンにミリ波受動部品の実装を論じた。ミクロン厚さの十の順にとトップ信号トレースと同じか小さい横寸法をもつ誘電体狭い膜は伝送線路とアンテナの性能を大幅に改善する簡単で革新的な微細加工法によりシリコンウエハ上に実装した。減衰における45%以上(すなわち,dB/mm0.06に相当)削減は,従来の薄膜設計で提案した伝送線路で達成された。アンテナ利得増強を提案し狭い膜設計のための重要である:従来の薄膜設計のための 2.5dBiから4.5dBiであった。狭い膜構造上の多層超薄金属-誘電体層を適用することにより,導体損失も減少し,上のシリコンアンテナ利得は5dBiに増加した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 伝送線路 ,  多層 ,  *ケイ素 ,  *膜構造 ,  *EHF波 ,  誘電体 ,  *アンテナ ,  薄膜 ,  微細加工 ,  導体
準シソーラス用語： アンテナ利得 ,  シリコンウエハ ,  *受動素子 ,  *ミリ波アンテナ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 伝送線  (NC04030C) ,  アンテナ  (ND06000M)

タイトルに関連する用語 (4件)： 膜構造 ,  シリコン ,  ミリ波アンテナ ,  受動部品