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J-GLOBAL ID：201702252419034017   整理番号：17A1737921

半導体プロセスにおける最近の液体極微小流量計測 コリオリ式マスフローmini CORI-FLOWシリーズ

著者 (1件)： 黒田誠 (ブロンコスト・ジャパン)
資料名： 計測技術  (Instrumentation and Automation)
巻： 45  号： 13  ページ： 16-21  発行年： 2017年12月05日 
JST資料番号： S0852A  ISSN： 0385-9886  CODEN： KEGIDR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： コリオリ式マスフローmini CORI-FLOW(登録商標)シリーズは,微小流量領域に限れば,液体および気体流量測定&制御のオンリーワンマスフローとして,市場から強い支持を得ている。微小流量レンジのみにフォーカスする独自の戦略から開発されたこのコリオリ式マスフローと,そのアプリケーションに関して解説した。具体的には,コリオリ式マスフローと微小流量液体ドージング技術,コリオリ式マスフローの液体気化供給システムへの採用について解説した。

シソーラス用語： 半導体プロセス ,  *流量測定 ,  *流量計 ,  *マスフロー【粉体】 ,  投与方法 ,  薬物動力学 ,  気体 ,  液体
準シソーラス用語： *流量計測 ,  *コリオリ流量計

分類 (2件)： 流体の実験・試験・測定方法及び装置  (BC01020K) ,  粉体工学  (XD03010M)

タイトルに関連する用語 (4件)： 半導体プロセス ,  微小 ,  流量計測 ,  マスフロー