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J-GLOBAL ID：201702252428627673   整理番号：17A1439858

環境エレクトロスプレイ堆積によるナノスケール集合体の原子的に正確な変換とミリメートルスケールのパターン形成【Powered by NICT】

Atomically Precise Transformations and Millimeter-Scale Patterning of Nanoscale Assemblies by Ambient Electrospray Deposition

著者 (4件)： Som Anirban (DST Unit of Nanoscience (DST UNS) and Thematic Unit of Excellence (TUE), Department of Chemistry, Indian Institute of Technology Madras, Chennai, 600 036, India) ,  Sarkar Depanjan (DST Unit of Nanoscience (DST UNS) and Thematic Unit of Excellence (TUE), Department of Chemistry, Indian Institute of Technology Madras, Chennai, 600 036, India) ,  Kanhirathingal Sisira (DST Unit of Nanoscience (DST UNS) and Thematic Unit of Excellence (TUE), Department of Chemistry, Indian Institute of Technology Madras, Chennai, 600 036, India) ,  Pradeep Thalappil (DST Unit of Nanoscience (DST UNS) and Thematic Unit of Excellence (TUE), Department of Chemistry, Indian Institute of Technology Madras, Chennai, 600 036, India)
資料名： Particle & Particle Systems Characterization  (Particle & Particle Systems Characterization)
巻： 34  号： 7  ページ： ROMBUNNO.201700101  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2713A  ISSN： 1521-4117  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 半導体デバイスの性能は,それらのナノ構造成分の化学変換により微調整できた。このような変換は,制御された条件で行われることが多い。ここでは,空気中の溶液からの金属イオンのエレクトロスプレイ蒸着の使用を報告し,ナノ構造のmm~2サイズ領域を横切る化学変換をもたらすことである。これは極薄テルルナノワイヤ(NW)の単分子層集合体を用いて説明した。プロセスは還元剤を必要とせず,環境条件下で,固体状態自体に,NWを変えることができる。適切なマスクを用いて,イオンビーム整列人間NW,原子的に正確な相境界を得るためにナノメータ精度でこのような変態を局在化するためにパターン化することができる。噴霧の曝露時間を制御することにより,プロセスの範囲はさらにテルル-金属テルル化コア シェルナノワイヤを生成するために拡張した。ここで述べた方法は,ナノ構造成分の環境処理のための重要なステップであり,半導体デバイス作製のような用途に有用である。Copyright 2017 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： ナノワイヤ ,  *パターン形成 ,  アラインメント ,  金属イオン ,  噴霧 ,  半導体素子 ,  半導体 ,  相境界 ,  蒸着 ,  *凝集体 ,  固相 ,  ナノ構造 ,  単分子層
準シソーラス用語： *ナノスケール ,  *エレクトロスプレイ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 1Dナノワイヤ ,  電解スプレー ,  エレクトロスプレイ蒸着 ,  局所変換 ,  半導体ヘテロ構造

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (8件)： 環境 ,  エレクトロスプレイ ,  堆積 ,  ナノスケール ,  集合体 ,  原子 ,  スケール ,  パターン形成